ผลกระทบของการโจมตีด้วยไอออนบนอินเทอร์เฟซของชั้นฟิล์ม/พื้นผิว

เมื่อเริ่มมีการสะสมของอะตอมเมมเบรน การโจมตีด้วยไอออนจะมีผลต่ออินเทอร์เฟซเมมเบรน/สารตั้งต้นดังต่อไปนี้

(1) การผสมทางกายภาพ เนื่องจากการฉีดไอออนพลังงานสูง การสปัตเตอร์ของอะตอมที่สะสม และการฉีดกลับของอะตอมบนพื้นผิว และปรากฏการณ์การชนกันแบบคาสเคด จะทำให้พื้นที่ใกล้พื้นผิวของอินเทอร์เฟซเมมเบรน/ฐานขององค์ประกอบพื้นผิวและองค์ประกอบเมมเบรนของการผสมแบบไม่แพร่กระจาย ผลของการผสมนี้จะเอื้อต่อการก่อตัวของอินเทอร์เฟซเมมเบรน/ฐาน "ชั้นแพร่กระจายเทียม" นั่นคือชั้นทรานสิชั่นระหว่างอินเทอร์เฟซเมมเบรน/ฐาน หนาถึงไม่กี่ไมครอน หนาไม่กี่ไมโครเมตร ซึ่งอาจเกิดเฟสใหม่ขึ้นได้ ซึ่งเป็นประโยชน์อย่างมากในการปรับปรุงความแข็งแรงของการยึดเกาะของอินเทอร์เฟซเมมเบรน/ฐาน

(2) การแพร่กระจายที่เพิ่มขึ้น ความเข้มข้นของข้อบกพร่องที่สูงในบริเวณใกล้พื้นผิวและอุณหภูมิที่สูงทำให้อัตราการแพร่กระจายเพิ่มขึ้น เนื่องจากพื้นผิวเป็นจุดบกพร่อง ไอออนขนาดเล็กจึงมีแนวโน้มที่จะเบี่ยงเบนพื้นผิว และการโจมตีด้วยไอออนมีผลในการเพิ่มการเบี่ยงเบนพื้นผิวเพิ่มเติมและเพิ่มการแพร่กระจายซึ่งกันและกันของอะตอมที่สะสมและอะตอมของสารตั้งต้น

(3) โหมดนิวเคลียสที่ได้รับการปรับปรุง คุณสมบัติของอะตอมที่ควบแน่นบนพื้นผิวของสารตั้งต้นนั้นถูกกำหนดโดยปฏิสัมพันธ์บนพื้นผิวและคุณสมบัติการเคลื่อนตัวบนพื้นผิว หากไม่มีปฏิสัมพันธ์ที่รุนแรงระหว่างอะตอมที่ควบแน่นและพื้นผิวของสารตั้งต้น อะตอมจะแพร่กระจายบนพื้นผิวจนกระทั่งเกิดนิวเคลียสในตำแหน่งที่มีพลังงานสูงหรือชนกับอะตอมที่แพร่กระจายตัวอื่น โหมดนิวเคลียสนี้เรียกว่านิวเคลียสที่ไม่เกิดปฏิกิริยา แม้ว่าต้นฉบับจะอยู่ในกรณีของโหมดนิวเคลียสที่ไม่เกิดปฏิกิริยา การโจมตีด้วยไอออนบนพื้นผิวของสารตั้งต้นสามารถผลิตข้อบกพร่องได้มากขึ้น ทำให้ความหนาแน่นของนิวเคลียสเพิ่มขึ้น ซึ่งจะเอื้อต่อการก่อตัวของโหมดนิวเคลียสการแพร่กระจาย-ปฏิกิริยา

(4) การกำจัดอะตอมที่ยึดติดแบบหลวมๆ ออกไปโดยเฉพาะ การสปัตเตอร์ของอะตอมบนพื้นผิวถูกกำหนดโดยสถานะพันธะในพื้นที่ และการโจมตีด้วยไอออนบนพื้นผิวมีแนวโน้มที่จะสปัตเตอร์อะตอมที่ยึดติดแบบหลวมๆ ออกไป ผลกระทบนี้เด่นชัดมากขึ้นในการก่อตัวของอินเทอร์เฟซที่ตอบสนองต่อการแพร่กระจาย

(5) การปรับปรุงการครอบคลุมพื้นผิวและการปรับปรุงบายพาสการชุบ เนื่องจากแรงดันก๊าซทำงานสูงของการชุบไอออน อะตอมที่ระเหยหรือสปัตเตอร์จะชนกับอะตอมก๊าซเพื่อเพิ่มการกระเจิง ส่งผลให้คุณสมบัติการห่อหุ้มเคลือบดี

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว