Технологияи таҳшинсозии чӯби ионӣ технологияи тазриқи чӯби ион ва пӯшонидани буғ дар якҷоягӣ бо технологияи коркарди таркибии рӯи ион мебошад. Дар ҷараёни тағир додани сатҳи маводи сӯзандоруи ион, хоҳ маводи нимноқил ё маводи муҳандисӣ, аксар вақт хоҳиш карда мешавад, ки ғафсии қабати тағирёфта нисбат ба имплантатсияи ионҳо хеле зиёдтар бошад, аммо инчунин мехоҳанд, ки бартариҳои раванди тазриқи ионҳо, ба монанди қабати тағирёфта ва субстрат байни интерфейси тез, дар ҳарорати хонагӣ коркард карда шаванд. Аз ин рӯ, тавассути омезиши имплантатсияи ионҳо бо технологияи пӯшиш, ионҳо бо энергияи муайян ҳангоми пӯшиш ба интерфейси байни филм ва субстрат пайваста ворид карда мешаванд ва атомҳои интерфасиалӣ бо ёрии бархӯрдҳои каскадӣ омехта шуда, дар наздикии интерфейси ибтидоӣ минтақаи гузариши атомро ташкил медиҳанд, то қувваи пайванди байни филм ва субстрат беҳтар карда шавад. Баъд дар минтакаи омехташавии атом плёнкаи дорой гафс ва хосиятхои зарурй бо иштироки шуои ионхо нашъунамо меёбад.
Инро Ion Beam Assisted Deposition (IBED) меноманд, ки хусусиятҳои раванди имплантатсияи ионҳоро нигоҳ медорад ва имкон медиҳад, ки субстрат бо маводи плёнкаи тунук, ки аз субстрат комилан фарқ мекунад, пӯшонида шавад.
Ҷойгиркунии нури ионӣ бартариҳои зерин дорад.
(1) Азбаски таҳшиншавии чӯби ионӣ плазмаро бидуни ихроҷи газ тавлид мекунад, пӯшишро метавон дар фишори <10-2 Па анҷом дод, ки ифлосшавии газро коҳиш медиҳад.
(2) Параметрҳои асосии раванд (энергияи ионҳо, зичии ионҳо) электрикӣ мебошанд. Умуман, назорати ҷараёни газ ва дигар параметрҳои ғайриэлектрикӣ лозим нест, шумо метавонед ба осонӣ афзоиши қабати филмро назорат кунед, таркиб ва сохтори филмро танзим кунед, такроршавандагии равандро осон кунед.
(3) Сатҳи қисмҳои коркардро бо плёнка пӯшонидан мумкин аст, ки аз субстрат комилан фарқ мекунад ва ғафсӣ бо энергияи ионҳои бомбаборон дар ҳарорати паст (<200 ℃) маҳдуд намешавад. Он барои коркарди сатҳи филмҳои функсионалии допинг, қолабҳои дақиқи коркарди хунук ва пӯлоди сохтории ҳарорати паст мувофиқ аст.
(4) Ин як раванди ғайримувозинатест, ки дар ҳарорати хонагӣ назорат карда мешавад. Дар ҳарорати хонагӣ плёнкаҳои нави функсионалӣ, аз қабили фазаҳои ҳарорати баланд, фазаҳои субстабил, хӯлаҳои аморфӣ ва ғайра ба даст овардан мумкин аст.
Камбудиҳои ҷойгиркунии нури ионҳо иборатанд аз.
(1) Азбаски нури ион дорои хусусиятҳои радиатсионӣ мебошад, мубориза бо шакли мураккаби сатҳи порчаи кор душвор аст.
(2) Мубориза бо қисмҳои калонҳаҷм ва майдони калон аз сабаби маҳдудияти андозаи ҷараёни шуои ионҳо душвор аст.
(3) Меъёри таҳшиншавии чӯби ионӣ одатан тақрибан 1 нм / с аст, ки барои омода кардани қабатҳои тунуки филм мувофиқ аст ва барои пӯшонидани миқдори зиёди маҳсулот мувофиқ нест.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: Ноябр-16-2023