ప్లాస్మా డైరెక్ట్ పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ

ప్లాస్మా డైరెక్ట్ పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ అంతర్గత ఎలక్ట్రోడ్ పాలిమరైజేషన్ పరికరాలు మరియు బాహ్య ఎలక్ట్రోడ్ పాలిమరైజేషన్ పరికరాలు రెండింటికీ చాలా సులభం, కానీ ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో పారామీటర్ ఎంపిక చాలా ముఖ్యమైనది, ఎందుకంటే ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ సమయంలో పారామీటర్లు పాలిమర్ ఫిల్మ్‌ల నిర్మాణం మరియు పనితీరుపై ఎక్కువ ప్రభావాన్ని చూపుతాయి.

ప్రత్యక్ష ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ కోసం ఆపరేషన్ దశలు క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

(1) వాక్యూమింగ్

వాక్యూమ్ పరిస్థితుల్లో పాలిమరైజేషన్ యొక్క నేపథ్య వాక్యూమ్‌ను 1.3×10-1Paకి పంప్ చేయాలి. ఆక్సిజన్ లేదా నైట్రోజన్ కంటెంట్‌ను నియంత్రించడానికి ప్రత్యేక అవసరాలు అవసరమయ్యే పాలిమరైజేషన్ ప్రతిచర్యలకు, నేపథ్య వాక్యూమ్ అవసరం ఇంకా ఎక్కువగా ఉంటుంది.

(2) ఛార్జ్ రియాక్షన్ మోనోమర్ లేదా క్యారియర్ గ్యాస్ మరియు మోనోమర్ మిశ్రమ వాయువు

వాక్యూమ్ డిగ్రీ 13-130Pa. పని అవసరమయ్యే ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ కోసం, తగిన ప్రవాహ నియంత్రణ మోడ్ మరియు ప్రవాహ రేటును ఎంచుకోవాలి, సాధారణంగా 10.100mL/min. ప్లాస్మాలో, మోనోమర్ అణువులు శక్తివంతమైన కణాల బాంబు దాడి ద్వారా అయనీకరణం చెందుతాయి మరియు విడదీయబడతాయి, ఫలితంగా అయాన్లు మరియు క్రియాశీల జన్యువులు వంటి క్రియాశీల కణాలు ఏర్పడతాయి. ప్లాస్మా ద్వారా సక్రియం చేయబడిన క్రియాశీల కణాలు గ్యాస్ దశ మరియు ఘన దశ యొక్క ఇంటర్‌ఫేస్‌లో ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌కు లోనవుతాయి. ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌కు మోనోమర్ పూర్వగామికి మూలం, మరియు ఇన్‌పుట్ రియాక్షన్ గ్యాస్ మరియు మోనోమర్ నిర్దిష్ట స్వచ్ఛతను కలిగి ఉండాలి.

(3) ఉత్తేజిత విద్యుత్ సరఫరా ఎంపిక

పాలిమరైజేషన్ కోసం ప్లాస్మా వాతావరణాన్ని అందించడానికి DC, హై-ఫ్రీక్వెన్సీ, RF లేదా మైక్రోవేవ్ పవర్ సోర్సెస్ ఉపయోగించి ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. పాలిమర్ యొక్క నిర్మాణం మరియు పనితీరు అవసరాల ఆధారంగా విద్యుత్ సరఫరా ఎంపిక నిర్ణయించబడుతుంది.

(4) డిశ్చార్జ్ మోడ్ ఎంపిక

పాలిమర్ అవసరాల కోసం, ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ రెండు ఉత్సర్గ మోడ్‌లను ఎంచుకోవచ్చు: నిరంతర ఉత్సర్గ లేదా పల్స్ ఉత్సర్గ.

(5) ఉత్సర్గ పారామితుల ఎంపిక

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ నిర్వహించేటప్పుడు, ప్లాస్మా పారామితులు, పాలిమర్ లక్షణాలు మరియు నిర్మాణ అవసరాల నుండి ఉత్సర్గ పారామితులను పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి. పాలిమరైజేషన్ సమయంలో వర్తించే శక్తి యొక్క పరిమాణం వాక్యూమ్ చాంబర్ యొక్క వాల్యూమ్, ఎలక్ట్రోడ్ పరిమాణం, మోనోమర్ ప్రవాహ రేటు మరియు నిర్మాణం, పాలిమరైజేషన్ రేటు మరియు పాలిమర్ నిర్మాణం మరియు పనితీరు ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది. ఉదాహరణకు, రియాక్షన్ చాంబర్ వాల్యూమ్ 1L మరియు RF ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ స్వీకరించబడితే, ఉత్సర్గ శక్తి 10~30W పరిధిలో ఉంటుంది. అటువంటి పరిస్థితులలో, ఉత్పత్తి చేయబడిన ప్లాస్మా వర్క్‌పీస్ ఉపరితలంపై సన్నని ఫిల్మ్‌ను ఏర్పరచడానికి సమగ్రంగా ఉంటుంది. ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ ఫిల్మ్ యొక్క వృద్ధి రేటు విద్యుత్ సరఫరా, మోనోమర్ రకం మరియు ప్రవాహ రేటు మరియు ప్రక్రియ పరిస్థితులను బట్టి మారుతుంది. సాధారణంగా, వృద్ధి రేటు 100nm/min~1um/min.

(6) ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో పారామితి కొలత

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో కొలవవలసిన ప్లాస్మా పారామితులు మరియు ప్రక్రియ పారామితులు: డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్, డిశ్చార్జ్ కరెంట్, డిశ్చార్జ్ ఫ్రీక్వెన్సీ, ఎలక్ట్రాన్ ఉష్ణోగ్రత, సాంద్రత, ప్రతిచర్య సమూహ రకం మరియు ఏకాగ్రత మొదలైనవి.

——ఈ వ్యాసం గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్హువా టెక్నాలజీ ద్వారా విడుదల చేయబడింది, aఆప్టికల్ కోటింగ్ యంత్రాల తయారీదారు.