అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ

అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ అనేది అయాన్ సర్ఫేస్ కాంపోజిట్ ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీతో కలిపి అయాన్ బీమ్ ఇంజెక్షన్ మరియు ఆవిరి డిపాజిషన్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ. అయాన్ ఇంజెక్ట్ చేయబడిన పదార్థాల ఉపరితల మార్పు ప్రక్రియలో, అది సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్స్ అయినా లేదా ఇంజనీరింగ్ మెటీరియల్స్ అయినా, సవరించిన పొర యొక్క మందం అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ కంటే చాలా ఎక్కువగా ఉండాలని తరచుగా కోరుకుంటారు, కానీ అయాన్ ఇంజెక్షన్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రయోజనాలను నిలుపుకోవాలనుకుంటున్నారు, సవరించిన పొర మరియు షార్ప్ ఇంటర్‌ఫేస్ మధ్య ఉన్న సబ్‌స్ట్రేట్ వంటివి గది ఉష్ణోగ్రత వర్క్‌పీస్‌లో ప్రాసెస్ చేయబడతాయి మరియు మొదలైనవి. అందువల్ల, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్‌ను పూత సాంకేతికతతో కలపడం ద్వారా, పూత పూసేటప్పుడు ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య ఇంటర్‌ఫేస్‌లోకి నిర్దిష్ట శక్తితో అయాన్‌లు నిరంతరం ఇంజెక్ట్ చేయబడతాయి మరియు ఇంటర్‌ఫేషియల్ అణువులను క్యాస్కేడ్ ఘర్షణల సహాయంతో కలుపుతారు, ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బంధన శక్తిని మెరుగుపరచడానికి ప్రారంభ ఇంటర్‌ఫేస్ దగ్గర అణువు మిక్సింగ్ ట్రాన్సిషన్ జోన్‌ను ఏర్పరుస్తారు. అప్పుడు, అణువు మిక్సింగ్ జోన్‌లో, అవసరమైన మందం మరియు లక్షణాలతో కూడిన ఫిల్మ్ అయాన్ పుంజం భాగస్వామ్యంతో పెరుగుతూనే ఉంటుంది.

దీనిని అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ (IBED) అని పిలుస్తారు, ఇది అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియ యొక్క లక్షణాలను నిలుపుకుంటుంది, అదే సమయంలో సబ్‌స్ట్రేట్‌ను సబ్‌స్ట్రేట్ నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన సన్నని ఫిల్మ్ మెటీరియల్‌తో పూత పూయడానికి అనుమతిస్తుంది.

అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ కింది ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది.

(1) అయాన్ బీమ్ సహాయంతో నిక్షేపణ గ్యాస్ ఉత్సర్గ లేకుండా ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేస్తుంది కాబట్టి, పూతను <10-2 Pa ఒత్తిడితో చేయవచ్చు, వాయు కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.

(2) ప్రాథమిక ప్రక్రియ పారామితులు (అయాన్ శక్తి, అయాన్ సాంద్రత) విద్యుత్. సాధారణంగా గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని మరియు ఇతర విద్యుత్యేతర పారామితులను నియంత్రించాల్సిన అవసరం లేదు, మీరు ఫిల్మ్ పొర పెరుగుదలను సులభంగా నియంత్రించవచ్చు, ఫిల్మ్ యొక్క కూర్పు మరియు నిర్మాణాన్ని సర్దుబాటు చేయవచ్చు, ప్రక్రియ యొక్క పునరావృతతను నిర్ధారించడం సులభం.

(3) వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉపరితలాన్ని సబ్‌స్ట్రేట్ నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన ఫిల్మ్‌తో పూత పూయవచ్చు మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద (<200℃) బాంబు అయాన్ల శక్తి ద్వారా మందం పరిమితం కాదు. ఇది డోప్డ్ ఫంక్షనల్ ఫిల్మ్‌లు, కోల్డ్ మెషిన్డ్ ప్రెసిషన్ మోల్డ్‌లు మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత టెంపర్డ్ స్ట్రక్చరల్ స్టీల్ యొక్క ఉపరితల చికిత్సకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

(4) ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద నియంత్రించబడే సమతుల్యత లేని ప్రక్రియ. అధిక-ఉష్ణోగ్రత దశలు, సబ్‌స్టేబుల్ దశలు, అస్ఫాకార మిశ్రమాలు మొదలైన కొత్త క్రియాత్మక ఫిల్మ్‌లను గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద పొందవచ్చు.

అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ యొక్క ప్రతికూలతలు ఏమిటంటే.

(1) అయాన్ పుంజం ప్రత్యక్ష రేడియేషన్ లక్షణాలను కలిగి ఉన్నందున, వర్క్‌పీస్ యొక్క సంక్లిష్ట ఉపరితల ఆకారాన్ని ఎదుర్కోవడం కష్టం.

(2) అయాన్ బీమ్ స్ట్రీమ్ పరిమాణం పరిమితి కారణంగా పెద్ద-స్థాయి మరియు పెద్ద-ప్రాంత వర్క్‌పీస్‌లను ఎదుర్కోవడం కష్టం.

(3) అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ రేటు సాధారణంగా 1nm/s చుట్టూ ఉంటుంది, ఇది సన్నని పొర పొరల తయారీకి అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు పెద్ద మొత్తంలో ఉత్పత్తుల ప్లేటింగ్‌కు తగినది కాదు.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా