உபகரண நன்மை
1. ஆழமான துளை பூச்சு உகப்பாக்கம்
பிரத்யேக ஆழமான துளை பூச்சு தொழில்நுட்பம்: ஜென்ஹுவா வெற்றிடத்தின் சுயமாக உருவாக்கப்பட்ட ஆழமான துளை பூச்சு தொழில்நுட்பம், சிக்கலான ஆழமான துளை கட்டமைப்புகளின் பூச்சு சவால்களை சமாளித்து, 30 மைக்ரோமீட்டர்கள் போன்ற சிறிய துளைகளுக்கு கூட 10:1 என்ற சிறந்த விகிதத்தை அடைய முடியும்.
2. தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, வெவ்வேறு அளவுகளை ஆதரிக்கிறது
600×600மிமீ / 510×515மிமீ அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட விவரக்குறிப்புகள் உட்பட பல்வேறு அளவுகளின் கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கிறது.
3. செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மை, பல பொருட்களுடன் இணக்கமானது
இந்த உபகரணமானது Cu, Ti, W, Ni மற்றும் Pt போன்ற கடத்தும் அல்லது செயல்பாட்டு மெல்லிய படலப் பொருட்களுடன் இணக்கமாக உள்ளது, கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான வெவ்வேறு பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
4. நிலையான உபகரண செயல்திறன், எளிதான பராமரிப்பு
இந்த உபகரணமானது தானியங்கி அளவுரு சரிசெய்தல் மற்றும் படலத்தின் தடிமன் சீரான தன்மையை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிப்பதை செயல்படுத்தும் ஒரு அறிவார்ந்த கட்டுப்பாட்டு அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது; இது எளிதான பராமரிப்புக்காக ஒரு மட்டு வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது செயலிழப்பு நேரத்தைக் குறைக்கிறது.
விண்ணப்பம்:TGV/TSV/TMV மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கிற்குப் பயன்படுத்தலாம், ≥10:1 என்ற விகிதத்துடன் ஆழமான துளை விதை அடுக்கு பூச்சு அடையும் திறன் கொண்டது.