அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு தொழில்நுட்பம்

அயன் கற்றை உதவி படிவு தொழில்நுட்பம் என்பது அயன் மேற்பரப்பு கலப்பு செயலாக்க தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்த அயன் கற்றை ஊசி மற்றும் நீராவி படிவு பூச்சு தொழில்நுட்பமாகும். குறைக்கடத்தி பொருட்கள் அல்லது பொறியியல் பொருட்கள் என அயன் உட்செலுத்தப்பட்ட பொருட்களின் மேற்பரப்பு மாற்றத்தின் செயல்பாட்டில், மாற்றியமைக்கப்பட்ட அடுக்கின் தடிமன் அயன் பொருத்துதலை விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும் என்பது பெரும்பாலும் விரும்பப்படுகிறது, ஆனால் அயன் ஊசி செயல்முறையின் நன்மைகளைத் தக்க வைத்துக் கொள்ள விரும்புகிறது, அதாவது மாற்றியமைக்கப்பட்ட அடுக்கு மற்றும் கூர்மையான இடைமுகத்திற்கு இடையிலான அடி மூலக்கூறு, அறை வெப்பநிலை பணிப்பகுதியிலும் செயலாக்கப்படலாம், மற்றும் பல. எனவே, அயன் பொருத்துதலை பூச்சு தொழில்நுட்பத்துடன் இணைப்பதன் மூலம், பூச்சு செய்யும் போது ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றலுடன் கூடிய அயனிகள் படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான இடைமுகத்தில் தொடர்ந்து செலுத்தப்படுகின்றன, மேலும் இடைமுக அணுக்கள் அடுக்கடுக்கான மோதல்களின் உதவியுடன் கலக்கப்படுகின்றன, படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பு சக்தியை மேம்படுத்த ஆரம்ப இடைமுகத்திற்கு அருகில் ஒரு அணு கலவை மாற்ற மண்டலத்தை உருவாக்குகின்றன. பின்னர், அணு கலவை மண்டலத்தில், தேவையான தடிமன் மற்றும் பண்புகளைக் கொண்ட படம் அயன் கற்றையின் பங்கேற்புடன் தொடர்ந்து வளர்கிறது.

இது அயன் பீம் அசிஸ்டட் டெபாசிஷன் (IBED) என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது அயனி பொருத்துதல் செயல்முறையின் பண்புகளைத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது, அதே நேரத்தில் அடி மூலக்கூறிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட ஒரு மெல்லிய படலப் பொருளால் அடி மூலக்கூறை பூச அனுமதிக்கிறது.

அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.

(1) அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் வாயு வெளியேற்றம் இல்லாமல் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குவதால், பூச்சு <10-2 Pa அழுத்தத்தில் செய்யப்படலாம், இது வாயு மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.

(2) அடிப்படை செயல்முறை அளவுருக்கள் (அயனி ஆற்றல், அயனி அடர்த்தி) மின்சாரம் சார்ந்தவை. பொதுவாக வாயு ஓட்டம் மற்றும் பிற மின்சாரம் அல்லாத அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்த வேண்டிய அவசியமில்லை, நீங்கள் பட அடுக்கின் வளர்ச்சியை எளிதாகக் கட்டுப்படுத்தலாம், படத்தின் கலவை மற்றும் கட்டமைப்பை சரிசெய்யலாம், செயல்முறை மீண்டும் நிகழும் தன்மையை உறுதி செய்வது எளிது.

(3) பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பை அடி மூலக்கூறிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட ஒரு படலத்தால் பூசலாம் மற்றும் தடிமன் குறைந்த வெப்பநிலையில் (<200℃) குண்டுவீச்சு அயனிகளின் ஆற்றலால் வரையறுக்கப்படவில்லை. இது டோப் செய்யப்பட்ட செயல்பாட்டு படங்கள், குளிர் இயந்திர துல்லிய அச்சுகள் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை டெம்பர்டு ஸ்ட்ரக்சுரல் ஸ்டீல் ஆகியவற்றின் மேற்பரப்பு சிகிச்சைக்கு ஏற்றது.

(4) இது அறை வெப்பநிலையில் கட்டுப்படுத்தப்படும் ஒரு சமநிலையற்ற செயல்முறையாகும். உயர் வெப்பநிலை கட்டங்கள், துணை நிலை கட்டங்கள், உருவமற்ற உலோகக் கலவைகள் போன்ற புதிய செயல்பாட்டு படலங்களை அறை வெப்பநிலையில் பெறலாம்.

அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவதன் தீமைகள்.

(1) அயன் கற்றை நேரடி கதிர்வீச்சு பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், பணிப்பகுதியின் சிக்கலான மேற்பரப்பு வடிவத்தைக் கையாள்வது கடினம்.

(2) அயன் கற்றை நீரோட்டத்தின் அளவு வரம்பு காரணமாக பெரிய அளவிலான மற்றும் பெரிய பரப்பளவு கொண்ட பணிப்பொருட்களைக் கையாள்வது கடினம்.

(3) அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு விகிதம் பொதுவாக 1nm/s ஆக இருக்கும், இது மெல்லிய படல அடுக்குகளைத் தயாரிப்பதற்கு ஏற்றது, மேலும் அதிக அளவிலான தயாரிப்புகளின் முலாம் பூசுவதற்கு ஏற்றதல்ல.

–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா