PRODUKTBESKRIVNING

Utrustningsfördel

1. Optimering av djuphålsbeläggning

Exklusiv teknik för djuphålsbeläggning: Zhenhua Vacuums egenutvecklade teknik för djuphålsbeläggning kan uppnå ett överlägset bildförhållande på 10:1 även för små öppningar så små som 30 mikrometer, vilket övervinner beläggningsutmaningarna med komplexa djuphålsstrukturer.

2. Anpassningsbar, stöder olika storlekar

Stöder glassubstrat i olika storlekar, inklusive 600×600 mm / 510×515 mm eller större specifikationer.

3. Processflexibilitet, kompatibel med flera material

Utrustningen är kompatibel med ledande eller funktionella tunnfilmsmaterial som Cu, Ti, W, Ni och Pt, och uppfyller olika applikationsbehov för konduktivitet och korrosionsbeständighet.

4. Stabil utrustningsprestanda, enkelt underhåll

Utrustningen är utrustad med ett intelligent styrsystem som möjliggör automatisk parameterjustering och realtidsövervakning av filmtjocklekens enhetlighet; den använder en modulär design för enkelt underhåll, vilket minskar stilleståndstiden.

Ansökan:Kan användas för avancerad TGV/TSV/TMV-förpackning, och kan uppnå djuphålsbeläggning av frölager med ett bildförhållande ≥10:1.