Опрема за вакуумско плазма чишћење усваја интегрисану структуру, опремљену РФ јонским системом за чишћење, потпуно аутоматском контролом, практичним радом и одржавањем.
РФ генератор високе фреквенције може генерисати плазму високе густине, активирати, нагризати и пепељати површину радног предмета, ефикасно уклањати прашину и масноћу са површине производа, ослобађати површински напон и добијати разне модификације на површини радног предмета.
Применљив је на гуму, стакло, керамику, метал и друге производе, а примењује се на микроелектронику, ЛЦД, ЛЕД, ЛЦМ, ПЦБ плоче, полупроводничко паковање, медицинске уређаје, експерименте у природним наукама и друга поља.