Pajisjet e pastrimit me plazmë vakumi kanë strukturë të integruar, të pajisur me sistem pastrimi me jon RF, kontroll plotësisht automatik, funksionim dhe mirëmbajtje të përshtatshme.
Gjeneratori RF me frekuencë të lartë mund të gjenerojë plazmë me dendësi të lartë, të aktivizojë, të gdhendë dhe të hijëzojë sipërfaqen e copës së punës, të heqë në mënyrë efektive pluhurin dhe yndyrën në sipërfaqen e produktit, të lirojë stresin sipërfaqësor dhe të marrë modifikime të ndryshme në sipërfaqen e copës së punës.
Është i zbatueshëm për gomën, qelqin, qeramikën, metalin dhe produkte të tjera, dhe zbatohet në mikroelektronikë, LCD, LED, LCM, pllaka qarku PCB, paketim gjysmëpërçues, pajisje mjekësore, eksperimente në shkencat e jetës dhe fusha të tjera.