Kur fillon depozitimi i atomeve të membranës, bombardimi jonik ka efektet e mëposhtme në ndërfaqen membranë/substrat.
(1) Përzierja fizike. Për shkak të injektimit të joneve me energji të lartë, spërkatjes së atomeve të depozituara dhe injektimit të tërhekurit të atomeve sipërfaqësore dhe fenomenit të përplasjes kaskadë, do të shkaktojë sipërfaqen afër sipërfaqes së ndërfaqes membranë/bazë të elementëve të substratit dhe elementëve të membranës të përzierjes jo-difuzive, ky efekt përzierjeje do të jetë i favorshëm për formimin e "shtresës pseudo-difuzive" të ndërfaqes membranë/bazë, domethënë shtresës kalimtare midis ndërfaqes membranë/bazë, deri në disa mikronë të trashë. Disa mikrometra të trashë, në të cilën mund të shfaqen edhe faza të reja. Kjo është shumë e favorshme për të përmirësuar forcën e ngjitjes së ndërfaqes membranë/bazë.
(2) Difuzion i shtuar. Përqendrimi i lartë i defekteve në rajonin afër sipërfaqes dhe temperatura e lartë rrisin shkallën e difuzionit. Meqenëse sipërfaqja është një defekt pikësor, jonet e vegjël kanë tendencë ta devijojnë sipërfaqen, dhe bombardimi jonik ka efektin e rritjes së mëtejshme të devijimit sipërfaqësor dhe rritjes së difuzionit të ndërsjellë të atomeve të depozituara dhe të substratit.
(3) Mënyra e përmirësuar e formimit të bërthamave. Vetitë e atomit të kondensuar në sipërfaqen e substratit përcaktohen nga bashkëveprimi i tij sipërfaqësor dhe vetitë e tij të migrimit në sipërfaqe. Nëse nuk ka bashkëveprim të fortë midis atomit të kondensuar dhe sipërfaqes së substratit, atomi do të difuzohet në sipërfaqe derisa të formohet bërthamë në një pozicion me energji të lartë ose të përplaset me atome të tjera difuzive. Kjo mënyrë e formimit të bërthamave quhet formim bërthamë jo-reaktiv. Edhe nëse origjinali i përket rastit të mënyrës së formimit të bërthamave jo-reaktive, bombardimi jonik i sipërfaqes së substratit mund të prodhojë më shumë defekte, duke rritur dendësinë e formimit të bërthamave, gjë që është më e favorshme për formimin e difuzionit - mënyra e formimit të bërthamave reaktive.
(4) Largimi preferencial i atomeve të lidhura lirshëm. Spërkatja e atomeve sipërfaqësore përcaktohet nga gjendja lokale e lidhjes, dhe bombardimi jonik i sipërfaqes ka më shumë gjasa të nxjerrë jashtë atome të lidhura lirshëm. Ky efekt është më i theksuar në formimin e ndërfaqeve reaktive ndaj difuzionit.
(5) Përmirësimi i mbulimit sipërfaqësor dhe rritja e anashkalimit të veshjes. Për shkak të presionit të lartë të gazit të punës të veshjes me jone, atomet e avulluara ose të spërkatura i nënshtrohen përplasjes me atomet e gazit për të rritur shpërndarjen, duke rezultuar në veti të mira mbështjellëse të veshjes.
– Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua
Koha e postimit: 09 Dhjetor 2023