Teknika konvencionale për depozitimin e veshjeve të forta

1. Teknologjia termike CVD

Veshjet e forta janë kryesisht veshje metal-qeramike (TiN, etj.), të cilat formohen nga reagimi i metalit në veshje dhe gazifikimi reaktiv. Në fillim, teknologjia termike CVD u përdor për të siguruar energjinë e aktivizimit të reaksionit të kombinimit me anë të energjisë termike në një temperaturë të lartë prej 1000 ℃. Kjo temperaturë është e përshtatshme vetëm për depozitimin e TiN dhe veshjeve të tjera të forta në veglat e karabit të çimentuar. Deri më tani, është ende një teknologji e rëndësishme për depozitimin e veshjeve kompozite TiN-Al2O3 në kokat e veglave të karabit të çimentuar.

1. Veshje jonik me katodë të zbrazët dhe veshje jonik me hark me tela të nxehtë

Në vitet 1980, veshja me jon katodë të zbrazët dhe veshja me jon hark me tela të nxehtë u përdorën për të depozituar vegla prerëse të veshura. Të dyja këto teknologji veshjeje me jon janë teknologji veshjeje me jon shkarkimi me hark, me një shkallë jonizimi të metaleve deri në 20%~40%.

1. Veshje jonik me hark katodik

Shfaqja e katimit jonik me hark katodik ka çuar në zhvillimin e teknologjisë së depozitimit të veshjeve të forta në kallëpe. Shkalla e jonizimit të veshjes jonik me hark katodik është 60%~90%, duke lejuar që një numër i madh i joneve metalike dhe joneve të gazit të reagimit të arrijnë sipërfaqen e copës së punës dhe të ruajnë ende aktivitet të lartë, duke rezultuar në depozitimin e reagimit dhe formimin e veshjeve të forta si TiN. Aktualisht, teknologjia e veshjes jonik me hark katodik përdoret kryesisht për të depozituar veshje të forta në kallëpe.

Burimi i harkut katodik është një burim avullimi në gjendje të ngurtë pa një pellg të shkrirë fiks, dhe pozicioni i burimit të harkut mund të vendoset në mënyrë arbitrare, duke përmirësuar shkallën e shfrytëzimit të hapësirës së dhomës së veshjes dhe duke rritur kapacitetin e ngarkimit të furrës. Format e burimeve të harkut katodik përfshijnë burime të vogla rrethore të harkut katodik, burime kolone të harkut dhe burime drejtkëndëshe të sheshta të harkut të madh. Komponentë të ndryshëm të burimeve të vogla të harkut, burimeve kolone të harkut dhe burimeve të mëdha të harkut mund të vendosen veçmas për të depozituar filma shumështresorë dhe filma nano shumështresorë. Ndërkohë, për shkak të shkallës së lartë të jonizimit të metaleve të veshjes katodike të joneve të harkut, jonet metalike mund të thithin më shumë gazra reagimi, duke rezultuar në një gamë të gjerë procesesh dhe funksionim të thjeshtë për të marrë veshje të forta të shkëlqyera. Megjithatë, ka pika të trasha në mikrostrukturën e shtresës së veshjes të marrë nga veshja katodike e joneve të harkut. Në vitet e fundit, kanë dalë shumë teknologji të reja për të rafinuar strukturën e shtresës së filmit, gjë që ka përmirësuar cilësinë e filmit të veshjes së joneve të harkut.