Prednost opreme
1. Optimizacija prevleke globokih lukenj
Ekskluzivna tehnologija premazovanja globokih lukenj: Zhenhua Vacuum je s svojo lastno tehnologijo premazovanja globokih lukenj dosegel vrhunsko razmerje stranic 10:1 tudi pri drobnih odprtinah, velikih le 30 mikrometrov, s čimer je premagal izzive premazovanja kompleksnih struktur z globokimi luknjami.
2. Prilagodljivo, podpira različne velikosti
Podpira steklene podlage različnih velikosti, vključno s specifikacijami 600 × 600 mm / 510 × 515 mm ali večjimi.
3. Prilagodljivost procesa, združljivost z več materiali
Oprema je združljiva s prevodnimi ali funkcionalnimi tankoplastnimi materiali, kot so Cu, Ti, W, Ni in Pt, ter izpolnjuje različne potrebe aplikacij glede prevodnosti in odpornosti proti koroziji.
4. Stabilna zmogljivost opreme, enostavno vzdrževanje
Oprema je opremljena z inteligentnim krmilnim sistemom, ki omogoča samodejno prilagajanje parametrov in spremljanje enakomernosti debeline filma v realnem času; ima modularno zasnovo za enostavno vzdrževanje in skrajšanje časa izpada.
Uporaba:Uporablja se lahko za napredno embalažo TGV/TSV/TMV, s katero je mogoče doseči prevleko s plastjo semen z globokimi luknjami in razmerjem stranic ≥10:1.