ප්ලාස්මා සෘජු බහුඅවයවීකරණ ක්රියාවලිය
ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණ ක්රියාවලිය අභ්යන්තර ඉලෙක්ට්රෝඩ බහුඅවයවීකරණ උපකරණ සහ බාහිර ඉලෙක්ට්රෝඩ බහුඅවයවීකරණ උපකරණ යන දෙකටම සාපේක්ෂව සරල ය, නමුත් ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේදී පරාමිති තේරීම වඩාත් වැදගත් වේ, මන්ද ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේදී පරාමිතීන් පොලිමර් පටලවල ව්යුහය සහ ක්රියාකාරිත්වය කෙරෙහි වැඩි බලපෑමක් ඇති කරයි.
සෘජු ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සඳහා මෙහෙයුම් පියවර පහත පරිදි වේ:
(1) රික්ත කිරීම
රික්තක තත්ත්වයන් යටතේ බහුඅවයවීකරණයේ පසුබිම් රික්තය 1.3×10-1Pa දක්වා පොම්ප කළ යුතුය. ඔක්සිජන් හෝ නයිට්රජන් අන්තර්ගතය පාලනය කිරීම සඳහා විශේෂ අවශ්යතා අවශ්ය වන බහුඅවයවීකරණ ප්රතික්රියා සඳහා, පසුබිම් රික්තක අවශ්යතාවය ඊටත් වඩා වැඩිය.
(2) ආරෝපණ ප්රතික්රියා මොනෝමරයක් හෝ වාහක වායුවක සහ මොනෝමරයක මිශ්ර වායුවක්
රික්තක උපාධිය 13-130Pa වේ. කාර්යය අවශ්ය වන ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සඳහා, සුදුසු ප්රවාහ පාලන මාදිලිය සහ ප්රවාහ අනුපාතය තෝරා ගත යුතුය, සාමාන්යයෙන් 10.100mL/min. ප්ලාස්මාවේදී, මොනෝමර් අණු අයනීකරණය වී ශක්තිජනක අංශු බෝම්බ හෙලීමෙන් විඝටනය වන අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස අයන සහ ක්රියාකාරී ජාන වැනි ක්රියාකාරී අංශු ඇති වේ. ප්ලාස්මා මගින් සක්රිය කරන ලද ක්රියාකාරී අංශු වායු අවධියේ සහ ඝන අවධියේ අතුරුමුහුණතේදී ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයට භාජනය විය හැකිය. ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සඳහා පූර්වගාමියාගේ මූලාශ්රය මොනෝමරය වන අතර, ආදාන ප්රතික්රියා වායුව සහ මොනෝමරයට නිශ්චිත සංශුද්ධතාවයක් තිබිය යුතුය.
(3) උද්දීපන බල සැපයුම තෝරා ගැනීම
බහුඅවයවීකරණය සඳහා ප්ලාස්මා පරිසරයක් සැපයීම සඳහා DC, අධි-සංඛ්යාත, RF හෝ මයික්රෝවේව් බල ප්රභවයන් භාවිතයෙන් ප්ලාස්මා ජනනය කළ හැකිය. බහුඅවයවීකරණය සඳහා ප්ලාස්මා පරිසරයක් සැපයීම සඳහා බල සැපයුම තෝරා ගැනීම තීරණය කරනු ලබන්නේ පොලිමර් වල ව්යුහය සහ ක්රියාකාරිත්වය සඳහා වන අවශ්යතා මත ය.
(4) විසර්ජන මාදිලිය තෝරා ගැනීම
පොලිමර් අවශ්යතා සඳහා, ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයට විසර්ජන ක්රම දෙකක් තෝරා ගත හැකිය: අඛණ්ඩ විසර්ජනය හෝ ස්පන්දන විසර්ජනය.
(5) විසර්ජන පරාමිතීන් තෝරා ගැනීම
ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සිදු කරන විට, විසර්ජන පරාමිතීන් ප්ලාස්මා පරාමිතීන්, පොලිමර් ගුණාංග සහ ව්යුහ අවශ්යතා වලින් සලකා බැලිය යුතුය. බහුඅවයවීකරණය අතරතුර යොදන බලයේ විශාලත්වය රික්ත කුටියේ පරිමාව, ඉලෙක්ට්රෝඩ ප්රමාණය, මොනෝමර් ප්රවාහ අනුපාතය සහ ව්යුහය, බහුඅවයවීකරණ අනුපාතය සහ පොලිමර් ව්යුහය සහ ක්රියාකාරිත්වය අනුව තීරණය වේ. උදාහරණයක් ලෙස, ප්රතික්රියා කුටීර පරිමාව 1L වන අතර RF ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය භාවිතා කරන්නේ නම්, විසර්ජන බලය 10~30W පරාසයක පවතී. එවැනි තත්වයන් යටතේ, ජනනය වන ප්ලාස්මා වැඩ කොටසෙහි මතුපිට තුනී පටලයක් සෑදීමට එකතු විය හැක. ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණ පටලයේ වර්ධන වේගය බල සැපයුම, මොනෝමර් වර්ගය සහ ප්රවාහ අනුපාතය සහ ක්රියාවලි තත්වයන් අනුව වෙනස් වේ. සාමාන්යයෙන්, වර්ධන වේගය 100nm/min~1um/min වේ.
(6) ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේ පරාමිති මැනීම
ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේදී මැනිය යුතු ප්ලාස්මා පරාමිතීන් සහ ක්රියාවලි පරාමිතීන් අතරට: විසර්ජන වෝල්ටීයතාවය, විසර්ජන ධාරාව, විසර්ජන සංඛ්යාතය, ඉලෙක්ට්රෝන උෂ්ණත්වය, ඝනත්වය, ප්රතික්රියා කණ්ඩායම් වර්ගය සහ සාන්ද්රණය යනාදිය ඇතුළත් වේ.
——මෙම ලිපිය නිකුත් කරන ලද්දේ ගුවැන්ඩොං ෂෙන්හුවා ටෙක්නොලොජි විසිනි, ඒදෘශ්ය ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා.
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-05-2023