پلازما سڌو پوليمرائيزيشن عمل

پلازما سڌو پوليمرائيزيشن عمل

پلازما پوليمرائيزيشن جو عمل اندروني اليڪٽروڊ پوليمرائيزيشن سامان ۽ ٻاهرين اليڪٽروڊ پوليمرائيزيشن سامان ٻنهي لاءِ نسبتاً سادو آهي، پر پلازما پوليمرائيزيشن ۾ پيرا ميٽر جي چونڊ وڌيڪ اهم آهي، ڇاڪاڻ ته پلازما پوليمرائيزيشن دوران پوليمر فلمن جي بناوت ۽ ڪارڪردگي تي پيرا ميٽرز جو وڌيڪ اثر پوندو آهي.

سڌي پلازما پوليمرائيزيشن لاءِ آپريشن جا مرحلا هن ريت آهن:

(1) ويڪيومنگ

ويڪيوم حالتن ۾ پوليمرائيزيشن جي پس منظر جي ويڪيوم کي 1.3×10-1Pa تائين پمپ ڪيو وڃي. پوليمرائيزيشن جي رد عملن لاءِ جن کي آڪسيجن يا نائٽروجن جي مواد کي ڪنٽرول ڪرڻ لاءِ خاص گهرجن جي ضرورت هوندي آهي، پس منظر جي ويڪيوم جي ضرورت اڃا به وڌيڪ هوندي آهي.

(2) چارج ري ايڪشن مونومر يا ڪيريئر گيس ۽ مونومر جو مخلوط گيس

ويڪيوم ڊگري 13-130Pa آهي. پلازما پوليمرائيزيشن لاءِ ڪم جي ضرورت آهي، مناسب وهڪري ڪنٽرول موڊ ۽ وهڪري جي شرح چونڊيو وڃي، عام طور تي 10.100mL/منٽ. پلازما ۾، مونومر ماليڪيول توانائي واري ذرڙن جي بمباري ذريعي آئنائيز ۽ الڳ ڪيا ويندا آهن، جنهن جي نتيجي ۾ فعال ذرات جهڙوڪ آئن ۽ فعال جين پيدا ٿين ٿا. پلازما پاران چالو ٿيندڙ فعال ذرات گئس فيز ۽ سولڊ فيز جي انٽرفيس تي پلازما پوليمرائيزيشن مان گذري سگهن ٿا. مونومر پلازما پوليمرائيزيشن لاءِ اڳڪٿي جو ذريعو آهي، ۽ ان پٽ رد عمل گئس ۽ مونومر کي ڪجهه پاڪائي هجڻ گهرجي.

(3) جوش بجلي جي فراهمي جو انتخاب

پوليمرائيزيشن لاءِ پلازما ماحول فراهم ڪرڻ لاءِ ڊي سي، هاءِ فريڪوئنسي، آر ايف، يا مائڪرو ويڪرو پاور ذريعن کي استعمال ڪندي پلازما پيدا ڪري سگهجي ٿو. بجلي جي فراهمي جو انتخاب پوليمر جي بناوت ۽ ڪارڪردگي جي گهرجن جي بنياد تي طئي ڪيو ويندو آهي.

(4) ڊسچارج موڊ جو انتخاب

پوليمر جي گهرجن لاءِ، پلازما پوليمرائيزيشن ٻه ڊسچارج موڊ چونڊي سگھي ٿي: مسلسل ڊسچارج يا نبض ڊسچارج.

(5) ڊسچارج پيرا ميٽرز جو انتخاب

پلازما پوليمرائيزيشن ڪرڻ وقت، ڊسچارج پيرا ميٽرز کي پلازما پيرا ميٽرز، پوليمر پراپرٽيز ۽ ڍانچي جي گهرجن مان غور ڪرڻ جي ضرورت آهي. پوليمرائيزيشن دوران لاڳو ٿيل طاقت جي شدت ويڪيوم چيمبر جي مقدار، اليڪٽرروڊ سائيز، مونومر وهڪري جي شرح ۽ ڍانچي، پوليمرائيزيشن جي شرح، ۽ پوليمر جي جوڙجڪ ۽ ڪارڪردگي جي ذريعي طئي ڪئي ويندي آهي. مثال طور، جيڪڏهن رد عمل چيمبر جو مقدار 1L آهي ۽ آر ايف پلازما پوليمرائيزيشن اختيار ڪئي وئي آهي، ته ڊسچارج پاور 10 ~ 30W جي حد ۾ هوندي. اهڙين حالتن ۾، پيدا ٿيندڙ پلازما ورڪ پيس جي مٿاڇري تي هڪ پتلي فلم ٺاهڻ لاءِ گڏ ٿي سگهي ٿو. پلازما پوليمرائيزيشن فلم جي واڌ جي شرح بجلي جي فراهمي، مونومر جي قسم ۽ وهڪري جي شرح، ۽ عمل جي حالتن سان مختلف هوندي آهي. عام طور تي، واڌ جي شرح 100nm/min~1um/min آهي.

(6) پلازما پوليمرائيزيشن ۾ پيرا ميٽر جي ماپ

پلازما پوليمرائيزيشن ۾ ماپڻ لاءِ پلازما پيرا ميٽرز ۽ پروسيس پيرا ميٽرز ۾ شامل آهن: ڊسچارج وولٽيج، ڊسچارج ڪرنٽ، ڊسچارج فريڪوئنسي، اليڪٽران جو گرمي پد، کثافت، رد عمل گروپ جو قسم ۽ ڪنسنٽريشن، وغيره.

——هي مضمون گوانگ ڊونگ زينهوا ٽيڪنالاجي پاران جاري ڪيو ويو، هڪآپٽيڪل ڪوٽنگ مشينن جو ٺاهيندڙ.