آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي

آئن بيم جي مدد سان جمع ٿيندڙ ٽيڪنالاجي آئن بيم انجيڪشن ۽ وانپ جمع ٿيندڙ ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي آهي جيڪا آئن مٿاڇري جي جامع پروسيسنگ ٽيڪنالاجي سان گڏ آهي. آئن انجيڪٽ ٿيل مواد جي مٿاڇري جي ترميم جي عمل ۾، ڇا سيمي ڪنڊڪٽر مواد يا انجنيئرنگ مواد، اهو اڪثر خواهش ڪئي ويندي آهي ته تبديل ٿيل پرت جي ٿلهي آئن امپلانٽيشن جي ڀيٽ ۾ تمام گهڻي هجي، پر آئن انجيڪشن جي عمل جي فائدن کي پڻ برقرار رکڻ چاهيون ٿا، جهڙوڪ تبديل ٿيل پرت ۽ تيز انٽرفيس جي وچ ۾ سبسٽريٽ، ڪمري جي حرارت تي ورڪ پيس تي پروسيس ڪري سگهجي ٿو، وغيره. تنهن ڪري، ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي سان آئن امپلانٽيشن کي گڏ ڪندي، ڪوٽنگ دوران فلم ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ انٽرفيس ۾ هڪ خاص توانائي سان آئن مسلسل داخل ڪيا ويندا آهن، ۽ انٽرفيشل ايٽم ڪيسڪيڊ ٽڪرائن جي مدد سان ملايا ويندا آهن، فلم ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ بانڊنگ فورس کي بهتر بڻائڻ لاءِ شروعاتي انٽرفيس جي ويجهو هڪ ايٽم مکسنگ ٽرانزيشن زون ٺاهيندا آهن. پوءِ، ايٽم مکسنگ زون تي، گهربل ٿولهه ۽ ملڪيت سان فلم آئن بيم جي شموليت سان وڌندي رهندي آهي.

ان کي آئن بيم اسسٽيڊ ڊيپوزيشن (IBED) سڏيو ويندو آهي، جيڪو آئن امپلانٽيشن جي عمل جي خاصيتن کي برقرار رکي ٿو جڏهن ته سبسٽريٽ کي هڪ پتلي فلم مواد سان ڍڪڻ جي اجازت ڏئي ٿو جيڪو سبسٽريٽ کان مڪمل طور تي مختلف آهي.

آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جا هيٺيان فائدا آهن.

(1) جيئن ته آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ گئس جي خارج ٿيڻ کان سواءِ پلازما پيدا ڪري ٿو، ڪوٽنگ <10-2 Pa جي دٻاءُ تي ڪري سگهجي ٿي، گئس جي آلودگي کي گهٽائي ٿي.

(2) بنيادي عمل جا پيرا ميٽر (آئن توانائي، آئن کثافت) برقي آهن. عام طور تي گئس جي وهڪري ۽ ٻين غير برقي پيرا ميٽرز کي ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت ناهي، توهان آساني سان فلم جي پرت جي واڌ کي ڪنٽرول ڪري سگهو ٿا، فلم جي ساخت ۽ بناوت کي ترتيب ڏئي سگهو ٿا، عمل جي ورجائي کي يقيني بڻائڻ آسان آهي.

(3) ورڪ پيس جي مٿاڇري کي هڪ اهڙي فلم سان ڍڪي سگهجي ٿو جيڪا سبسٽريٽ کان مڪمل طور تي مختلف هجي ۽ ٿلهي گهٽ درجه حرارت (<200℃) تي بمباري آئن جي توانائي سان محدود نه هجي. اهو ڊوپڊ فنڪشنل فلمن، ٿڌي مشين واري صحت واري مولڊ ۽ گهٽ درجه حرارت واري ٽيمپرڊ اسٽرڪچرل اسٽيل جي مٿاڇري جي علاج لاءِ موزون آهي.

(4) اهو هڪ غير متوازن عمل آهي جيڪو ڪمري جي حرارت تي ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي. نئين فنڪشنل فلمون جهڙوڪ اعليٰ درجه حرارت جا مرحلا، سبسٽيبل مرحلا، بي شڪل مصر، وغيره ڪمري جي حرارت تي حاصل ڪري سگهجن ٿيون.

آئن بيم اسسٽنٽ ڊيپوزيشن جا نقصان آهن.

(1) ڇاڪاڻ ته آئن بيم ۾ سڌي تابڪاري خاصيتون آهن، ان ڪري ورڪ پيس جي پيچيده مٿاڇري جي شڪل سان معاملو ڪرڻ ڏکيو آهي.

(2) آئن بيم اسٽريم جي سائيز جي محدود هجڻ جي ڪري وڏي پيماني تي ۽ وڏي ايراضي واري ورڪ پيس سان ڊيل ڪرڻ ڏکيو آهي.

(3) آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جي شرح عام طور تي 1nm/s جي لڳ ڀڳ هوندي آهي، جيڪا پتلي فلم جي تہن جي تياري لاءِ موزون آهي، ۽ وڏي مقدار ۾ شين جي پليٽنگ لاءِ موزون ناهي.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا