Echipamentul de curățare cu plasmă în vid adoptă o structură integrată, echipat cu sistem de curățare cu ioni RF, control complet automat, operare și întreținere convenabile.
Generatorul RF de înaltă frecvență poate genera plasmă de înaltă densitate, poate activa, grava și reduce suprafața piesei de prelucrat, poate îndepărta eficient praful și grăsimea de pe suprafața produsului, poate elibera tensiunea de suprafață și poate obține diverse modificări la suprafața piesei de prelucrat.
Se aplică la cauciuc, sticlă, ceramică, metal și alte produse și se aplică în microelectronică, LCD, LED, LCM, plăci de circuite PCB, ambalaje semiconductoare, dispozitive medicale, experimente în științele vieții și alte domenii.