د پلازما مستقیم پولیمرائزیشن پروسه
د پلازما پولیمرائزیشن پروسه د داخلي الکترود پولیمرائزیشن تجهیزاتو او بهرني الکترود پولیمرائزیشن تجهیزاتو دواړو لپاره نسبتا ساده ده، مګر د پلازما پولیمرائزیشن کې د پیرامیټر انتخاب ډیر مهم دی، ځکه چې پیرامیټرونه د پلازما پولیمرائزیشن پرمهال د پولیمر فلمونو جوړښت او فعالیت باندې ډیر اغیز لري.
د مستقیم پلازما پولیمرائزیشن لپاره د عملیاتو مرحلې په لاندې ډول دي:
(۱) ویکیوم کول
د ویکیوم شرایطو لاندې د پولیمرائزیشن شالید خلا باید 1.3×10-1Pa ته پمپ شي. د پولیمرائزیشن تعاملاتو لپاره چې د اکسیجن یا نایتروجن مینځپانګې کنټرول لپاره ځانګړي اړتیاو ته اړتیا لري، د شالید خلا اړتیا حتی لوړه ده.
(۲) د چارج تعامل مونومر یا د بار وړونکي ګاز او مونومر مخلوط ګاز
د خلا درجه ۱۳-۱۳۰Pa ده. د پلازما پولیمرائزیشن لپاره چې کار ته اړتیا لري، د جریان کنټرول مناسب حالت او د جریان کچه باید غوره شي، عموما ۱۰.۱۰۰ ملی لیتر/دقیقه. په پلازما کې، مونومر مالیکولونه د انرژي لرونکو ذراتو د بمبارۍ له لارې ایونیز او جلا کیږي، چې په پایله کې فعال ذرات لکه ایونونه او فعال جینونه رامینځته کیږي. هغه فعال ذرات چې د پلازما لخوا فعال شوي کولی شي د ګاز مرحلې او جامد مرحلې په انٹرفیس کې د پلازما پولیمرائزیشن څخه تیر شي. مونومر د پلازما پولیمرائزیشن لپاره د مخکیني سرچینه ده، او د ننوتلو غبرګون ګاز او مونومر باید یو څه پاکوالی ولري.
(۳) د هڅونې بریښنا رسولو انتخاب
پلازما د DC، لوړ فریکونسۍ، RF، یا مایکروویو بریښنا سرچینو په کارولو سره تولید کیدی شي ترڅو د پولیمر کولو لپاره د پلازما چاپیریال چمتو کړي. د بریښنا رسولو انتخاب د پولیمر جوړښت او فعالیت لپاره د اړتیاو پراساس ټاکل کیږي.
(۴) د خارجیدو حالت انتخاب
د پولیمر اړتیاو لپاره، د پلازما پولیمرائزیشن کولی شي د خارجیدو دوه طریقې غوره کړي: دوامداره خارجیدل یا د نبض خارجیدل.
(۵) د خارجیدو پیرامیټرو انتخاب
کله چې د پلازما پولیمرائزیشن ترسره کیږي، د خارجیدو پیرامیټرونه باید د پلازما پیرامیټرو، پولیمر ځانګړتیاو او جوړښت اړتیاو څخه په پام کې ونیول شي. د پولیمرائزیشن پرمهال د پلي شوي بریښنا اندازه د ویکیوم چیمبر حجم، الکترود اندازه، د مونومر جریان کچه او جوړښت، پولیمرائزیشن کچه، او پولیمر جوړښت او فعالیت لخوا ټاکل کیږي. د مثال په توګه، که چیرې د عکس العمل چیمبر حجم 1L وي او د RF پلازما پولیمرائزیشن غوره شي، د خارجیدو بریښنا به د 10 ~ 30W په حد کې وي. د داسې شرایطو لاندې، تولید شوی پلازما کولی شي د ورک پیس په سطحه یو پتلی فلم جوړ کړي. د پلازما پولیمرائزیشن فلم د ودې کچه د بریښنا رسولو، مونومر ډول او جریان کچه، او د پروسې شرایطو سره توپیر لري. عموما، د ودې کچه 100nm/min~1um/min ده.
(6) د پلازما پولیمرائزیشن کې د پیرامیټر اندازه کول
د پلازما پارامترونه او د پروسې پیرامیټرونه چې د پلازما پولیمرائزیشن کې اندازه کیږي عبارت دي له: د خارجیدو ولتاژ، د خارجیدو جریان، د خارجیدو فریکونسۍ، د الکترون تودوخه، کثافت، د عکس العمل ګروپ ډول او غلظت، او داسې نور.
——دا مقاله د ګوانګ دونګ ژین هوا ټیکنالوژۍ لخوا خپره شوې، aد آپټیکل کوټینګ ماشینونو جوړونکی.
د پوسټ وخت: می-۰۵-۲۰۲۳