د آیون بیم په مرسته جمع کولو ټیکنالوژي د آیون بیم انجیکشن او بخار جمع کولو کوټینګ ټیکنالوژي ده چې د آیون سطحې مرکب پروسس کولو ټیکنالوژۍ سره یوځای کیږي. د آیون انجیکشن شوي موادو د سطحې تعدیل په پروسه کې، که سیمیکمډکټر مواد وي یا انجینري مواد، ډیری وختونه دا غوښتل کیږي چې د تعدیل شوي طبقې ضخامت د آیون امپلانټیشن په پرتله خورا ډیر وي، مګر دا هم غواړي چې د آیون انجیکشن پروسې ګټې وساتي، لکه تعدیل شوی طبقه او د تیز انٹرفیس ترمنځ سبسټریټ، د خونې د تودوخې په کاري ځای کې پروسس کیدی شي، او داسې نور. له همدې امله، د کوټینګ ټیکنالوژۍ سره د آیون امپلانټیشن یوځای کولو سره، د یوې ټاکلې انرژۍ سره آیونونه په دوامداره توګه د فلم او سبسټریټ ترمنځ انٹرفیس ته د کوټ کولو پرمهال داخل کیږي، او د انټرفیسیل اتومونه د کاسکیډ ټکرونو په مرسته مخلوط کیږي، د لومړني انٹرفیس ته نږدې د اتوم مخلوط کولو لیږد زون جوړوي ترڅو د فلم او سبسټریټ ترمنځ د اړیکې ځواک ښه کړي. بیا، د اتوم مخلوط کولو زون کې، د اړتیا وړ ضخامت او ملکیتونو سره فلم د آیون بیم په ګډون سره وده کوي.
دې ته د آیون بیم اسسټډ ډیپوزیشن (IBED) ویل کیږي، کوم چې د آیون امپلانټیشن پروسې ځانګړتیاوې ساتي پداسې حال کې چې سبسټریټ ته اجازه ورکوي چې د یو پتلي فلم موادو سره پوښل شي چې د سبسټریټ څخه په بشپړ ډول توپیر لري.
د ایون بیم په مرسته زیرمه کول لاندې ګټې لري.
(۱) څرنګه چې د ایون بیم په مرسته زیرمه کول د ګاز خارجیدو پرته پلازما تولیدوي، نو کوټ کول د <10-2 Pa په فشار سره ترسره کیدی شي، چې د ګاز ککړتیا کموي.
(۲) د پروسې اساسي پیرامیټرې (د آیون انرژي، د آیون کثافت) بریښنایی دي. عموما د ګاز جریان او نور غیر بریښنایی پیرامیټرې کنټرولولو ته اړتیا نلري، تاسو کولی شئ په اسانۍ سره د فلم طبقې وده کنټرول کړئ، د فلم جوړښت او جوړښت تنظیم کړئ، د پروسې تکرار ډاډمن کول اسانه دي.
(۳) د ورک پیس سطحه د داسې فلم سره پوښل کیدی شي چې د سبسټریټ څخه په بشپړ ډول توپیر ولري او ضخامت یې د ټیټ تودوخې (<200℃) کې د بمبارۍ ایونونو انرژي لخوا محدود نه وي. دا د ډوپ شوي فعال فلمونو، سړې ماشین شوي دقیق مولډونو او د ټیټ تودوخې تودوخې ساختماني فولادو د سطحې درملنې لپاره مناسب دی.
(۴) دا یوه غیر متوازن پروسه ده چې د خونې په تودوخه کې کنټرول کیږي. نوي فعال فلمونه لکه د لوړې تودوخې مرحلې، د سبسټیبل مرحلې، بې شکله الیاژونه، او نور د خونې په تودوخه کې ترلاسه کیدی شي.
د ایون بیم په مرسته د جمع کولو زیانونه دا دي:
(۱) ځکه چې د ایون بیم مستقیم وړانګې ځانګړتیاوې لري، نو د ورک پیس د پیچلي سطحې شکل سره معامله کول ستونزمن دي.
(۲) د ایون بیم جریان د اندازې محدودیت له امله د لوی پیمانه او لوی ساحې کاري ټوټو سره معامله کول ستونزمن دي.
(۳) د ایون بیم په مرسته د جمع کولو کچه معمولا شاوخوا ۱ نانومیټر/ساعته وي، کوم چې د پتلي فلم طبقو د چمتو کولو لپاره مناسب دی، او د لوی مقدار محصولاتو د پلیټ کولو لپاره مناسب نه دی.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: نومبر-۱۶-۲۰۲۳