ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਡਾਇਰੈਕਟ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਡਾਇਰੈਕਟ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅੰਦਰੂਨੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਅਤੇ ਬਾਹਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੋਵਾਂ ਲਈ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਸਰਲ ਹੈ, ਪਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਚੋਣ ਵਧੇਰੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਦਾ ਪੋਲੀਮਰ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ 'ਤੇ ਵਧੇਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ।

ਸਿੱਧੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਕਾਰਜ ਕਦਮ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹਨ:

(1) ਵੈਕਿਊਮਿੰਗ

ਵੈਕਿਊਮ ਹਾਲਤਾਂ ਵਿੱਚ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੇ ਬੈਕਗ੍ਰਾਊਂਡ ਵੈਕਿਊਮ ਨੂੰ 1.3×10-1Pa ਤੱਕ ਪੰਪ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਆਕਸੀਜਨ ਜਾਂ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਕੰਟਰੋਲ ਕਰਨ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਬੈਕਗ੍ਰਾਊਂਡ ਵੈਕਿਊਮ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੋਰ ਵੀ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

(2) ਚਾਰਜ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਮੋਨੋਮਰ ਜਾਂ ਕੈਰੀਅਰ ਗੈਸ ਅਤੇ ਮੋਨੋਮਰ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਤ ਗੈਸ

ਵੈਕਿਊਮ ਡਿਗਰੀ 13-130Pa ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਕੰਮ ਦੀ ਲੋੜ ਲਈ, ਢੁਕਵਾਂ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨਿਯੰਤਰਣ ਮੋਡ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਚੁਣੀ ਜਾਵੇਗੀ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 10.100mL/ਮਿੰਟ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ, ਮੋਨੋਮਰ ਅਣੂ ਊਰਜਾਵਾਨ ਕਣਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਦੁਆਰਾ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਅਤੇ ਵੱਖ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਆਇਨ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਜੀਨ ਵਰਗੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਣ ਬਣਦੇ ਹਨ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੁਆਰਾ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਣ ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਅਤੇ ਠੋਸ ਪੜਾਅ ਦੇ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਮੋਨੋਮਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਪੂਰਵਗਾਮੀ ਦਾ ਸਰੋਤ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਨਪੁਟ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਅਤੇ ਮੋਨੋਮਰ ਦੀ ਕੁਝ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਹੋਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।

(3) ਉਤੇਜਨਾ ਬਿਜਲੀ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਚੋਣ

ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਲਈ ਡੀਸੀ, ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ, ਆਰਐਫ, ਜਾਂ ਮਾਈਕ੍ਰੋਵੇਵ ਪਾਵਰ ਸਰੋਤਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਚੋਣ ਪੋਲੀਮਰ ਦੀ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

(4) ਡਿਸਚਾਰਜ ਮੋਡ ਦੀ ਚੋਣ

ਪੋਲੀਮਰ ਲੋੜਾਂ ਲਈ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਮੋਡ ਚੁਣ ਸਕਦਾ ਹੈ: ਨਿਰੰਤਰ ਡਿਸਚਾਰਜ ਜਾਂ ਪਲਸ ਡਿਸਚਾਰਜ।

(5) ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਦੀ ਚੋਣ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ, ਪੋਲੀਮਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਤੇ ਬਣਤਰ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਤੋਂ ਵਿਚਾਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਲਾਗੂ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸ਼ਕਤੀ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਵਾਲੀਅਮ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਆਕਾਰ, ਮੋਨੋਮਰ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਅਤੇ ਬਣਤਰ, ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦਰ, ਅਤੇ ਪੋਲੀਮਰ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਜੇਕਰ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਾਲੀਅਮ 1L ਹੈ ਅਤੇ RF ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਅਪਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪਾਵਰ 10~30W ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਹੋਵੇਗੀ। ਅਜਿਹੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ, ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇਕੱਠਾ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਫਿਲਮ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਦਰ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ, ਮੋਨੋਮਰ ਕਿਸਮ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਨਾਲ ਬਦਲਦੀ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਵਿਕਾਸ ਦਰ 100nm/min~1um/min ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

(6) ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਮਾਪ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਮਾਪੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ: ਡਿਸਚਾਰਜ ਵੋਲਟੇਜ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਕਰੰਟ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਤਾਪਮਾਨ, ਘਣਤਾ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਸਮੂਹ ਦੀ ਕਿਸਮ ਅਤੇ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ, ਆਦਿ।

——ਇਹ ਲੇਖ ਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ ਟੈਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਜਾਰੀ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਏਆਪਟੀਕਲ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦਾ ਨਿਰਮਾਤਾ.