ਆਇਨ ਬੀਮ ਅਸਿਸਟਡ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ

ਆਇਨ ਬੀਮ ਅਸਿਸਟਡ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਆਇਨ ਬੀਮ ਇੰਜੈਕਸ਼ਨ ਅਤੇ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ ਜੋ ਆਇਨ ਸਤਹ ਕੰਪੋਜ਼ਿਟ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨਾਲ ਮਿਲਦੀ ਹੈ। ਆਇਨ ਇੰਜੈਕਟ ਕੀਤੇ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਸਤਹ ਸੋਧ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਭਾਵੇਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਹੋਵੇ ਜਾਂ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ, ਅਕਸਰ ਇਹ ਇੱਛਾ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਸੋਧੀ ਹੋਈ ਪਰਤ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਨਾਲੋਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੋਵੇ, ਪਰ ਆਇਨ ਇੰਜੈਕਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਫਾਇਦਿਆਂ ਨੂੰ ਵੀ ਬਰਕਰਾਰ ਰੱਖਣਾ ਚਾਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸੋਧੀ ਹੋਈ ਪਰਤ ਅਤੇ ਤਿੱਖੇ ਇੰਟਰਫੇਸ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸਬਸਟਰੇਟ, ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਵਰਕਪੀਸ 'ਤੇ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ। ਇਸ ਲਈ, ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨਾਲ ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਜੋੜ ਕੇ, ਇੱਕ ਖਾਸ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਇਨਾਂ ਨੂੰ ਕੋਟਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਫਿਲਮ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਇੰਟਰਫੇਸ ਵਿੱਚ ਲਗਾਤਾਰ ਇੰਜੈਕਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇੰਟਰਫੇਸ਼ੀਅਲ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਕੈਸਕੇਡ ਟੱਕਰਾਂ ਦੀ ਮਦਦ ਨਾਲ ਮਿਲਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਫਿਲਮ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਚਕਾਰ ਬੰਧਨ ਸ਼ਕਤੀ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਇੰਟਰਫੇਸ ਦੇ ਨੇੜੇ ਇੱਕ ਐਟਮ ਮਿਕਸਿੰਗ ਟ੍ਰਾਂਜਿਸ਼ਨ ਜ਼ੋਨ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਫਿਰ, ਐਟਮ ਮਿਕਸਿੰਗ ਜ਼ੋਨ 'ਤੇ, ਲੋੜੀਂਦੀ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਆਇਨ ਬੀਮ ਦੀ ਭਾਗੀਦਾਰੀ ਨਾਲ ਵਧਦੀ ਰਹਿੰਦੀ ਹੈ।

ਇਸਨੂੰ ਆਇਨ ਬੀਮ ਅਸਿਸਟਡ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ (IBED) ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਬਰਕਰਾਰ ਰੱਖਦਾ ਹੈ ਜਦੋਂ ਕਿ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਸਮੱਗਰੀ ਨਾਲ ਲੇਪ ਕਰਨ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤੋਂ ਬਿਲਕੁਲ ਵੱਖਰੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਆਇਨ ਬੀਮ ਅਸਿਸਟਡ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਦੇ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ।

(1) ਕਿਉਂਕਿ ਆਇਨ ਬੀਮ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਜਮ੍ਹਾ ਗੈਸ ਡਿਸਚਾਰਜ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਕੋਟਿੰਗ <10-2 Pa ਦੇ ਦਬਾਅ 'ਤੇ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਗੈਸ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

(2) ਮੁੱਢਲੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਮਾਪਦੰਡ (ਆਇਨ ਊਰਜਾ, ਆਇਨ ਘਣਤਾ) ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਹਨ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਹੋਰ ਗੈਰ-ਬਿਜਲੀ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ, ਤੁਸੀਂ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੇ ਵਾਧੇ ਨੂੰ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ, ਫਿਲਮ ਦੀ ਰਚਨਾ ਅਤੇ ਬਣਤਰ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਆਸਾਨ ਹੈ।

(3) ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਇੱਕ ਅਜਿਹੀ ਫਿਲਮ ਨਾਲ ਕੋਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤੋਂ ਬਿਲਕੁਲ ਵੱਖਰੀ ਹੋਵੇ ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ (<200℃) 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਊਰਜਾ ਦੁਆਰਾ ਸੀਮਿਤ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ। ਇਹ ਡੋਪਡ ਫੰਕਸ਼ਨਲ ਫਿਲਮਾਂ, ਕੋਲਡ ਮਸ਼ੀਨਡ ਪ੍ਰਿਸੀਜ਼ਨ ਮੋਲਡ ਅਤੇ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਟੈਂਪਰਡ ਸਟ੍ਰਕਚਰਲ ਸਟੀਲ ਦੇ ਸਤਹ ਇਲਾਜ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਹੈ।

(4) ਇਹ ਇੱਕ ਗੈਰ-ਸੰਤੁਲਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜੋ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਨਵੀਆਂ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਫਿਲਮਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪੜਾਅ, ਸਬਸਟੇਬਲ ਪੜਾਅ, ਅਮੋਰਫਸ ਮਿਸ਼ਰਤ, ਆਦਿ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਆਇਨ ਬੀਮ ਅਸਿਸਟਡ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਹਨ।

(1) ਕਿਉਂਕਿ ਆਇਨ ਬੀਮ ਵਿੱਚ ਸਿੱਧੀ ਰੇਡੀਏਸ਼ਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਸਤਹ ਸ਼ਕਲ ਨਾਲ ਨਜਿੱਠਣਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

(2) ਆਇਨ ਬੀਮ ਸਟ੍ਰੀਮ ਦੇ ਆਕਾਰ ਦੀ ਸੀਮਾ ਦੇ ਕਾਰਨ ਵੱਡੇ ਪੈਮਾਨੇ ਅਤੇ ਵੱਡੇ-ਖੇਤਰ ਵਾਲੇ ਵਰਕਪੀਸ ਨਾਲ ਨਜਿੱਠਣਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੈ।

(3) ਆਇਨ ਬੀਮ ਸਹਾਇਕ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਗਭਗ 1nm/s ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮ ਪਰਤਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਲਈ ਢੁਕਵੀਂ ਹੈ, ਅਤੇ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਪਲੇਟਿੰਗ ਲਈ ਢੁਕਵੀਂ ਨਹੀਂ ਹੈ।

-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ