ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା

ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା

ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ଉପକରଣ ଏବଂ ବାହ୍ୟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ଉପକରଣ ଉଭୟ ପାଇଁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ ସହଜ, କିନ୍ତୁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍‌ରେ ପାରାମିଟର୍ ଚୟନ ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, କାରଣ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍‌ ସମୟରେ ପଲିମର୍ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଗଠନ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ପାରାମିଟର୍‌ଗୁଡ଼ିକର ଅଧିକ ପ୍ରଭାବ ପଡ଼ିଥାଏ।

ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ ପ୍ଲାଜମା ପଲିମରାଇଜେସନ ପାଇଁ କାର୍ଯ୍ୟ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକ ନିମ୍ନଲିଖିତ:

(୧) ଭାକ୍ୟୁମ୍ କରିବା

ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସ୍ଥିତିରେ ପଲିମରାଇଜେସନ୍‌ର ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନକୁ 1.3×10-1Pa ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପମ୍ପ କରାଯିବା ଉଚିତ। ଅମ୍ଳଜାନ କିମ୍ବା ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍‌ ପରିମାଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ପାଇଁ ବିଶେଷ ଆବଶ୍ୟକତା ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପଲିମରାଇଜେସନ୍‌ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପାଇଁ, ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଆବଶ୍ୟକତା ଆହୁରି ଅଧିକ।

(୨) ଚାର୍ଜ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମନୋମର୍ କିମ୍ବା ବାହକ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ମନୋମର୍ ମିଶ୍ରିତ ଗ୍ୟାସ୍

ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଡିଗ୍ରୀ ହେଉଛି 13-130Pa। ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ, ଉପଯୁକ୍ତ ପ୍ରବାହ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମୋଡ୍ ଏବଂ ପ୍ରବାହ ହାର ଚୟନ କରାଯିବ, ସାଧାରଣତଃ 10.100mL/ମିନିଟ୍। ପ୍ଲାଜ୍ମାରେ, ମନୋମର ଅଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ଶକ୍ତିଶାଳୀ କଣିକାଗୁଡ଼ିକର ବୋମା ମାଡ଼ ଦ୍ୱାରା ଆୟନକୃତ ଏବଂ ବିଚ୍ଛିନ୍ନ କରାଯାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଆୟନ ଏବଂ ସକ୍ରିୟ ଜିନ୍ ଭଳି ସକ୍ରିୟ କଣିକା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ। ପ୍ଲାଜ୍ମା ଦ୍ୱାରା ସକ୍ରିୟ ସକ୍ରିୟ କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ଗ୍ୟାସ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଏବଂ କଠିନ ପର୍ଯ୍ୟାୟର ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ଦେଇପାରିବେ। ମନୋମର ହେଉଛି ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ପୂର୍ବସୂରୀର ଉତ୍ସ, ଏବଂ ଇନପୁଟ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ମନୋମରର କିଛି ଶୁଦ୍ଧତା ରହିବ।

(3) ଉତ୍ତେଜନା ଶକ୍ତି ଯୋଗାଣର ଚୟନ

ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପରିବେଶ ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ DC, ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି, RF, କିମ୍ବା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପାୱାର ଉତ୍ସ ବ୍ୟବହାର କରି ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଇପାରିବ। ପଲିମରର ଗଠନ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାର ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ଆଧାର କରି ପାୱାର ଯୋଗାଣର ଚୟନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ।

(୪) ଡିସଚାର୍ଜ ମୋଡ୍ ଚୟନ

ପଲିମର ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ, ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ଦୁଇଟି ଡିସଚାର୍ଜ ମୋଡ୍ ବାଛିପାରିବ: ନିରନ୍ତର ଡିସଚାର୍ଜ କିମ୍ବା ପଲ୍ସ ଡିସଚାର୍ଜ।

(5) ଡିସଚାର୍ଜ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ଚୟନ

ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ପରିଚାଳନା କରିବା ସମୟରେ, ପ୍ଲାଜ୍ମା ପାରାମିଟର, ପଲିମର ଗୁଣ ଏବଂ ଗଠନ ଆବଶ୍ୟକତାରୁ ଡିସଚାର୍ଜ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ବିଚାର କରିବାକୁ ପଡିବ। ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ସମୟରେ ପ୍ରୟୋଗ ହୋଇଥିବା ଶକ୍ତିର ପରିମାଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରର ଆୟତନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ଆକାର, ମନୋମର ପ୍ରବାହ ହାର ଏବଂ ଗଠନ, ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ହାର, ଏବଂ ପଲିମର ଗଠନ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଯଦି ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ଆୟତନ 1L ହୁଏ ଏବଂ RF ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ଗ୍ରହଣ କରାଯାଏ, ତେବେ ଡିସଚାର୍ଜ ଶକ୍ତି 10~30W ମଧ୍ୟରେ ରହିବ। ଏପରି ପରିସ୍ଥିତିରେ, ଉତ୍ପନ୍ନ ପ୍ଲାଜ୍ମା ୱର୍କପିସ୍ ର ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରିବାକୁ ଏକତ୍ରିତ ହୋଇପାରେ। ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍ ଫିଲ୍ମର ବୃଦ୍ଧି ହାର ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ, ମନୋମର ପ୍ରକାର ଏବଂ ପ୍ରବାହ ହାର ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥା ସହିତ ଭିନ୍ନ ହୋଇଥାଏ। ସାଧାରଣତଃ, ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର 100nm/ମିନିଟ୍~1um/ମିନିଟ୍।

(6) ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍‌ରେ ପାରାମିଟର ମାପ

ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମରାଇଜେସନ୍‌ରେ ମାପ ହେବାକୁ ଥିବା ପ୍ଲାଜ୍ମା ପାରାମିଟର ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: ଡିସଚାର୍ଜ ଭୋଲଟେଜ୍, ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ, ଡିସଚାର୍ଜ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ତାପମାତ୍ରା, ଘନତା, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗୋଷ୍ଠୀ ପ୍ରକାର ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା, ଇତ୍ୟାଦି।

——ଏହି ଲେଖାଟି ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ୍ ଝେନହୁଆ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, ଏକଅପ୍ଟିକାଲ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା.