ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା

ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ଆୟନ ବିମ୍ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ଏବଂ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ଆୟନ ପୃଷ୍ଠ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ମିଶ୍ରିତ। ଆୟନ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠ ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ କିମ୍ବା ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ସାମଗ୍ରୀ ହେଉ, ପ୍ରାୟତଃ ଏହା ଇଚ୍ଛା କରାଯାଏ ଯେ ପରିବର୍ତ୍ତିତ ସ୍ତରର ଘନତା ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଅଧିକ ଥାଏ, କିନ୍ତୁ ଆୟନ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକୁ ମଧ୍ୟ ବଜାୟ ରଖିବାକୁ ଚାହେଁ, ଯେପରିକି ପରିବର୍ତ୍ତିତ ସ୍ତର ଏବଂ ତୀକ୍ଷ୍ଣ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ମଧ୍ୟରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍, କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରାଯାଇପାରିବ, ଇତ୍ୟାଦି। ତେଣୁ, ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣକୁ ମିଶ୍ରଣ କରି, ଆବରଣ ସମୟରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଶକ୍ତି ସହିତ ଆୟନଗୁଡ଼ିକୁ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ରେ ନିରନ୍ତର ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ କରାଯାଏ, ଏବଂ ଇଣ୍ଟରଫେସିଆଲ୍ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ କାସ୍କେଡ୍ ଧକ୍କା ସାହାଯ୍ୟରେ ମିଶ୍ରିତ କରାଯାଏ, ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତିକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ନିକଟରେ ଏକ ପରମାଣୁ ମିଶ୍ରଣ ପରିବର୍ତ୍ତନ କ୍ଷେତ୍ର ଗଠନ କରେ। ତାପରେ, ପରମାଣୁ ମିଶ୍ରଣ ଜୋନରେ, ଆବଶ୍ୟକ ଘନତା ଏବଂ ଗୁଣଧର୍ମ ସହିତ ଫିଲ୍ମଟି ଆୟନ ବିମ୍ ଅଂଶଗ୍ରହଣ ସହିତ ବଢ଼ିବାକୁ ଜାରି ରଖେ।

ଏହାକୁ ଆୟନ୍ ବିମ୍ ଆସିଷ୍ଟେଡ୍ ଡିପୋଜିସନ୍ (IBED) କୁହାଯାଏ, ଯାହା ଆୟନ୍ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକୁ ବଜାୟ ରଖେ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍‌କୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍‌ଠାରୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭିନ୍ନ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଆବରଣ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।

ଆୟନ ବିମ୍ ଆସିଷ୍ଟେଡ୍ ଡିପୋଜିସନର ନିମ୍ନଲିଖିତ ସୁବିଧା ଅଛି।

(୧) ଯେହେତୁ ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ଗ୍ୟାସ୍ ନିର୍ଗମନ ବିନା ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି କରେ, ତେଣୁ ଆବରଣ <10-2 Pa ଚାପରେ କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।

(୨) ମୌଳିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ (ଆୟନ ଶକ୍ତି, ଆୟନ ଘନତ୍ୱ) ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଅଟେ। ସାଧାରଣତଃ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଅଣ-ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାର ଆବଶ୍ୟକତା ନାହିଁ, ଆପଣ ସହଜରେ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ବୃଦ୍ଧିକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବେ, ଫିଲ୍ମର ଗଠନ ଏବଂ ଗଠନକୁ ସଜାଡ଼ି ପାରିବେ, ପ୍ରକ୍ରିୟାର ପୁନରାବୃତ୍ତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ସହଜ।

(3) ୱର୍କପିସର ପୃଷ୍ଠକୁ ଏକ ଫିଲ୍ମ ସହିତ ଆବୃତ କରାଯାଇପାରିବ ଯାହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଠାରୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭିନ୍ନ ଏବଂ କମ ତାପମାତ୍ରାରେ (<200℃) ବୋମାମାଡ଼ ଆୟନର ଶକ୍ତି ଦ୍ୱାରା ଘନତା ସୀମିତ ନୁହେଁ। ଏହା ଡୋପ୍ଡ ଫଙ୍କସନ୍ଲ ଫିଲ୍ମ, ଥଣ୍ଡା ମେସିନ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ମୋଲ୍ଡ ଏବଂ କମ ତାପମାତ୍ରା ଟେମ୍ପର୍ଡ ଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ ଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ ଷ୍ଟିଲର ପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।

(୪) ଏହା ଏକ ଅସନ୍ତୁଳନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯାହା କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୁଏ। ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପର୍ଯ୍ୟାୟ, ସବଷ୍ଟେବଲ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ, ଆକାରହୀନ ମିଶ୍ର ଇତ୍ୟାଦି ନୂତନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ମିଳିପାରିବ।

ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ଜମାର ଅସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି।

(୧) ଆୟନ ବିମର ସିଧାସଳଖ ବିକିରଣ ଗୁଣ ଥିବାରୁ, କାର୍ଯ୍ୟପଦ୍ଧତିର ଜଟିଳ ପୃଷ୍ଠ ଆକୃତି ସହିତ ମୁକାବିଲା କରିବା କଷ୍ଟକର।

(୨) ଆୟନ ବିମ୍ ଷ୍ଟ୍ରିମର ଆକାରର ସୀମିତତା ଯୋଗୁଁ ବଡ଼ ଏବଂ ବଡ଼ କ୍ଷେତ୍ର ବିଶିଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ମୁକାବିଲା କରିବା କଷ୍ଟକର।

(3) ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ଜମା ହାର ସାଧାରଣତଃ ପ୍ରାୟ 1nm/s ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ, ଏବଂ ଅଧିକ ପରିମାଣର ଉତ୍ପାଦର ପ୍ଲେଟିଂ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ନୁହେଁ।

–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |