PRODUKTBESKRIVELSE

Utstyrsfordel

1. Optimalisering av dyphullbelegg

Eksklusiv teknologi for dyphullsbelegg: Zhenhua Vacuums egenutviklede teknologi for dyphullsbelegg kan oppnå et overlegent sideforhold på 10:1, selv for små åpninger så små som 30 mikrometer, og dermed overvinne beleggutfordringene ved komplekse dyphullsstrukturer.

2. Tilpassbar, støtter forskjellige størrelser

Støtter glassunderlag i forskjellige størrelser, inkludert spesifikasjoner på 600 × 600 mm / 510 × 515 mm eller større.

3. Prosessfleksibilitet, kompatibel med flere materialer

Utstyret er kompatibelt med ledende eller funksjonelle tynnfilmmaterialer som Cu, Ti, W, Ni og Pt, og oppfyller ulike applikasjonsbehov for konduktivitet og korrosjonsbestandighet.

4. Stabil utstyrsytelse, enkelt vedlikehold

Utstyret er utstyrt med et intelligent kontrollsystem som muliggjør automatisk parameterjustering og sanntidsovervåking av filmtykkelsens jevnhet; det bruker en modulær design for enkelt vedlikehold, noe som reduserer nedetiden.

Søknad:Kan brukes til avansert TGV/TSV/TMV-pakking, og er i stand til å oppnå belegg av dype hullfrølag med et sideforhold ≥10:1.