Uitrustingsvoordeel
1. Optimalisatie van diepe gatcoating
Exclusieve Deep Hole Coating-technologie: de door Zhenhua Vacuum zelf ontwikkelde deep hole coating-technologie kan een superieure aspectverhouding van 10:1 bereiken, zelfs bij kleine openingen van slechts 30 micrometer, waardoor de coatinguitdagingen van complexe deep hole-structuren worden overwonnen.
2. Aanpasbaar, ondersteunt verschillende formaten
Ondersteunt glassubstraten van verschillende formaten, waaronder 600×600mm / 510×515mm of grotere specificaties.
3. Procesflexibiliteit, compatibel met meerdere materialen
De apparatuur is compatibel met geleidende of functionele dunnefilmmaterialen zoals Cu, Ti, W, Ni en Pt en voldoet aan verschillende toepassingsbehoeften op het gebied van geleidbaarheid en corrosiebestendigheid.
4. Stabiele apparatuurprestaties, eenvoudig onderhoud
De apparatuur is uitgerust met een intelligent besturingssysteem dat automatische parameteraanpassing en real-time bewaking van de uniformiteit van de filmdikte mogelijk maakt. Het modulaire ontwerp zorgt voor eenvoudig onderhoud en beperkt de uitvaltijd.
Sollicitatie:Kan worden gebruikt voor geavanceerde TGV/TSV/TMV-verpakkingen en is in staat om een diepe zaadlaagcoating te bereiken met een aspectverhouding ≥10:1.