प्लाज्मा प्रत्यक्ष पोलिमराइजेशन प्रक्रिया
आन्तरिक इलेक्ट्रोड पोलिमराइजेशन उपकरण र बाह्य इलेक्ट्रोड पोलिमराइजेशन उपकरण दुवैको लागि प्लाज्मा पोलिमराइजेशनको प्रक्रिया तुलनात्मक रूपमा सरल छ, तर प्लाज्मा पोलिमराइजेशनमा प्यारामिटर चयन बढी महत्त्वपूर्ण हुन्छ, किनभने प्लाज्मा पोलिमराइजेशनको समयमा पोलिमर फिल्महरूको संरचना र कार्यसम्पादनमा प्यारामिटरहरूले बढी प्रभाव पार्छन्।
प्रत्यक्ष प्लाज्मा पोलिमराइजेसनको लागि सञ्चालन चरणहरू निम्नानुसार छन्:
(१) भ्याकुमिङ
भ्याकुम अवस्थाहरूमा पोलिमराइजेसनको पृष्ठभूमि भ्याकुमलाई १.३×१०-१Pa मा पम्प गर्नुपर्छ। अक्सिजन वा नाइट्रोजन सामग्री नियन्त्रण गर्न विशेष आवश्यकताहरू आवश्यक पर्ने पोलिमराइजेसन प्रतिक्रियाहरूको लागि, पृष्ठभूमि भ्याकुम आवश्यकता अझ बढी हुन्छ।
(२) चार्ज प्रतिक्रिया मोनोमर वा वाहक ग्यास र मोनोमरको मिश्रित ग्यास
भ्याकुम डिग्री १३-१३०Pa हो। प्लाज्मा पोलिमराइजेसनलाई काम आवश्यक पर्ने कामको लागि, उपयुक्त प्रवाह नियन्त्रण मोड र प्रवाह दर चयन गरिनेछ, सामान्यतया १०.१०० मिली/मिनेट। प्लाज्मामा, मोनोमर अणुहरू ऊर्जावान कणहरूको बमबारीद्वारा आयनीकृत र विच्छेदन गरिन्छन्, जसको परिणामस्वरूप आयनहरू र सक्रिय जीनहरू जस्ता सक्रिय कणहरू हुन्छन्। प्लाज्माद्वारा सक्रिय सक्रिय कणहरू ग्यास चरण र ठोस चरणको इन्टरफेसमा प्लाज्मा पोलिमराइजेसनबाट गुज्रन सक्छन्। मोनोमर प्लाज्मा पोलिमराइजेसनको लागि अग्रदूतको स्रोत हो, र इनपुट प्रतिक्रिया ग्यास र मोनोमरमा निश्चित शुद्धता हुनुपर्छ।
(३) उत्तेजना बिजुली आपूर्तिको चयन
पोलिमराइजेसनको लागि प्लाज्मा वातावरण प्रदान गर्न DC, उच्च-फ्रिक्वेन्सी, RF, वा माइक्रोवेभ पावर स्रोतहरू प्रयोग गरेर प्लाज्मा उत्पादन गर्न सकिन्छ। पोलिमरको संरचना र कार्यसम्पादनको आवश्यकताहरूको आधारमा पावर आपूर्तिको छनोट निर्धारण गरिन्छ।
(४) डिस्चार्ज मोडको चयन
पोलिमर आवश्यकताहरूको लागि, प्लाज्मा पोलिमराइजेसनले दुई डिस्चार्ज मोडहरू छनौट गर्न सक्छ: निरन्तर डिस्चार्ज वा पल्स डिस्चार्ज।
(५) डिस्चार्ज प्यारामिटरहरूको चयन
प्लाज्मा पोलिमराइजेसन सञ्चालन गर्दा, प्लाज्मा प्यारामिटरहरू, पोलिमर गुणहरू र संरचना आवश्यकताहरूबाट डिस्चार्ज प्यारामिटरहरू विचार गर्न आवश्यक छ। पोलिमराइजेसनको समयमा लागू गरिएको शक्तिको परिमाण भ्याकुम चेम्बरको आयतन, इलेक्ट्रोड आकार, मोनोमर प्रवाह दर र संरचना, पोलिमराइजेसन दर, र पोलिमर संरचना र कार्यसम्पादनद्वारा निर्धारण गरिन्छ। उदाहरणका लागि, यदि प्रतिक्रिया चेम्बरको मात्रा १L छ र RF प्लाज्मा पोलिमराइजेसन अपनाइएको छ भने, डिस्चार्ज पावर १०~३०W को दायरामा हुनेछ। यस्तो अवस्थामा, उत्पन्न हुने प्लाज्मा वर्कपीसको सतहमा पातलो फिल्म बनाउन जम्मा हुन सक्छ। प्लाज्मा पोलिमराइजेसन फिल्मको वृद्धि दर पावर आपूर्ति, मोनोमर प्रकार र प्रवाह दर, र प्रक्रिया अवस्थाहरूसँग भिन्न हुन्छ। सामान्यतया, वृद्धि दर १००nm/मिनेट~१um/मिनेट हुन्छ।
(६) प्लाज्मा पोलिमराइजेसनमा प्यारामिटर मापन
प्लाज्मा पोलिमराइजेसनमा मापन गरिने प्लाज्मा प्यारामिटरहरू र प्रक्रिया प्यारामिटरहरू समावेश छन्: डिस्चार्ज भोल्टेज, डिस्चार्ज करेन्ट, डिस्चार्ज फ्रिक्वेन्सी, इलेक्ट्रोन तापक्रम, घनत्व, प्रतिक्रिया समूह प्रकार र सांद्रता, आदि।
——यो लेख ग्वाङडोङ जेनहुआ टेक्नोलोजी द्वारा जारी गरिएको थियो, एअप्टिकल कोटिंग मेसिनहरूको निर्माता.
पोस्ट समय: मे-०५-२०२३