आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसन टेक्नोलोजी

आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसन टेक्नोलोजी भनेको आयन बीम इन्जेक्सन र वाष्प डिपोजिसन कोटिंग टेक्नोलोजी हो जुन आयन सतह कम्पोजिट प्रशोधन प्रविधिसँग जोडिएको हुन्छ। आयन इन्जेक्टेड सामग्रीहरूको सतह परिमार्जनको प्रक्रियामा, चाहे अर्धचालक सामग्री होस् वा इन्जिनियरिङ सामग्री, प्रायः यो चाहना गरिन्छ कि परिमार्जित तहको मोटाई आयन इम्प्लान्टेसनको भन्दा धेरै बढी होस्, तर आयन इन्जेक्सन प्रक्रियाको फाइदाहरू पनि कायम राख्न चाहन्छ, जस्तै परिमार्जित तह र तीखो इन्टरफेस बीचको सब्सट्रेट, कोठाको तापक्रममा प्रशोधन गर्न सकिन्छ, र यस्तै। त्यसकारण, कोटिंग टेक्नोलोजीसँग आयन इम्प्लान्टेसन संयोजन गरेर, कोटिंग गर्दा फिल्म र सब्सट्रेट बीचको इन्टरफेसमा निश्चित ऊर्जा भएका आयनहरूलाई निरन्तर इन्जेक्ट गरिन्छ, र इन्टरफेसियल परमाणुहरूलाई क्यास्केड टक्करको मद्दतले मिसाइन्छ, फिल्म र सब्सट्रेट बीचको बन्धन बल सुधार गर्न प्रारम्भिक इन्टरफेस नजिकै एटम मिक्सिङ ट्रान्जिसन जोन बनाउँछ। त्यसपछि, एटम मिक्सिङ जोनमा, आवश्यक मोटाई र गुणहरू भएको फिल्म आयन बीमको सहभागितामा बढ्न जारी रहन्छ।

यसलाई आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसन (IBED) भनिन्छ, जसले आयन इम्प्लान्टेसन प्रक्रियाको विशेषताहरूलाई कायम राख्छ र सब्सट्रेटलाई सब्सट्रेटभन्दा पूर्ण रूपमा फरक पातलो फिल्म सामग्रीले लेपित गर्न अनुमति दिन्छ।

आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनका निम्न फाइदाहरू छन्।

(१) आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनले ग्यास डिस्चार्ज बिना प्लाज्मा उत्पन्न गर्ने भएकोले, कोटिंग <१०-२ पाउण्डको दबाबमा गर्न सकिन्छ, जसले गर्दा ग्यास प्रदूषण कम हुन्छ।

(२) आधारभूत प्रक्रिया प्यारामिटरहरू (आयन ऊर्जा, आयन घनत्व) विद्युतीय हुन्। सामान्यतया ग्यास प्रवाह र अन्य गैर-विद्युत प्यारामिटरहरू नियन्त्रण गर्न आवश्यक पर्दैन, तपाईं सजिलैसँग फिल्म तहको वृद्धि नियन्त्रण गर्न सक्नुहुन्छ, फिल्मको संरचना र संरचना समायोजन गर्न सक्नुहुन्छ, प्रक्रियाको दोहोरिने क्षमता सुनिश्चित गर्न सजिलो छ।

(३) वर्कपीसको सतहलाई सब्सट्रेट भन्दा पूर्णतया फरक फिल्मले लेपित गर्न सकिन्छ र कम तापक्रम (<२००℃) मा बमबारी आयनहरूको ऊर्जाद्वारा मोटाई सीमित हुँदैन। यो डोप गरिएको कार्यात्मक फिल्महरू, कोल्ड मेसिन गरिएको प्रेसिजन मोल्डहरू र कम तापक्रम टेम्पर्ड स्ट्रक्चरल स्टीलको सतह उपचारको लागि उपयुक्त छ।

(४) यो कोठाको तापक्रममा नियन्त्रित एक असंतुलन प्रक्रिया हो। उच्च-तापमान चरणहरू, सबस्टेबल चरणहरू, अनाकार मिश्र धातुहरू, आदि जस्ता नयाँ कार्यात्मक फिल्महरू कोठाको तापक्रममा प्राप्त गर्न सकिन्छ।

आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनका बेफाइदाहरू निम्न हुन्:

(१) आयन बीममा प्रत्यक्ष विकिरण विशेषताहरू भएकाले, वर्कपीसको जटिल सतह आकारसँग व्यवहार गर्न गाह्रो हुन्छ।

(२) आयन बीम स्ट्रिमको आकारको सीमितताको कारणले गर्दा ठूला-स्तरीय र ठूला-क्षेत्रफलका वर्कपीसहरूसँग व्यवहार गर्न गाह्रो छ।

(३) आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसन दर सामान्यतया १nm/s को आसपास हुन्छ, जुन पातलो फिल्म तहहरूको तयारीको लागि उपयुक्त हुन्छ, र ठूलो मात्रामा उत्पादनहरूको प्लेटिङको लागि उपयुक्त हुँदैन।

- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua