Proċess ta' polimerizzazzjoni diretta tal-plażma
Il-proċess tal-polimerizzazzjoni tal-plażma huwa relattivament sempliċi kemm għat-tagħmir tal-polimerizzazzjoni tal-elettrodu intern kif ukoll għat-tagħmir tal-polimerizzazzjoni tal-elettrodu estern, iżda l-għażla tal-parametri hija aktar importanti fil-polimerizzazzjoni tal-plażma, għaliex il-parametri għandhom impatt akbar fuq l-istruttura u l-prestazzjoni tal-films tal-polimeru matul il-polimerizzazzjoni tal-plażma.
Il-passi tal-operazzjoni għall-polimerizzazzjoni diretta tal-plażma huma kif ġej:
(1) It-tindif bil-vakwu
Il-vakwu fl-isfond tal-polimerizzazzjoni taħt kundizzjonijiet ta' vakwu għandu jiġi ppumpjat għal 1.3 × 10-1Pa. Għal reazzjonijiet ta' polimerizzazzjoni li jeħtieġu rekwiżiti speċjali għall-kontroll tal-kontenut ta' ossiġnu jew nitroġenu, ir-rekwiżit tal-vakwu fl-isfond huwa saħansitra ogħla.
(2) Monomeru ta' reazzjoni ta' ċarġ jew gass imħallat ta' gass trasportatur u monomeru
Il-grad tal-vakwu huwa 13-130Pa. Għall-polimerizzazzjoni tal-plażma li teħtieġ xogħol, għandhom jintgħażlu mod ta' kontroll tal-fluss u rata ta' fluss xierqa, ġeneralment 10.100mL/min. Fil-plażma, il-molekuli monomeriċi huma jonizzati u dissoċjati permezz tal-bumbardament ta' partiċelli enerġetiċi, li jirriżulta f'partiċelli attivi bħal joni u ġeni attivi. Il-partiċelli attivi attivati mill-plażma jistgħu jgħaddu minn polimerizzazzjoni tal-plażma fl-interfaċċja tal-fażi tal-gass u l-fażi solida. Il-monomeru huwa s-sors tal-prekursur għall-polimerizzazzjoni tal-plażma, u l-gass tar-reazzjoni tad-dħul u l-monomeru għandu jkollhom ċerta purità.
(3) L-għażla tal-provvista tal-enerġija tal-eċitazzjoni
Il-plażma tista' tiġi ġġenerata bl-użu ta' sorsi ta' enerġija DC, ta' frekwenza għolja, RF, jew microwave biex tipprovdi ambjent ta' plażma għall-polimerizzazzjoni. L-għażla tal-provvista tal-enerġija hija determinata abbażi tar-rekwiżiti għall-istruttura u l-prestazzjoni tal-polimeru.
(4) L-għażla tal-modalità ta' skariku
Għar-rekwiżiti tal-polimeru, il-polimerizzazzjoni tal-plażma tista' tagħżel żewġ modi ta' skarika: skarika kontinwa jew skarika bil-polz.
(5) L-għażla tal-parametri tal-ħruġ
Meta titwettaq il-polimerizzazzjoni tal-plażma, il-parametri tal-ħruġ jeħtieġ li jiġu kkunsidrati mill-parametri tal-plażma, il-proprjetajiet tal-polimeru u r-rekwiżiti tal-istruttura. Il-kobor tal-qawwa applikata waqt il-polimerizzazzjoni huwa determinat mill-volum tal-kamra tal-vakwu, id-daqs tal-elettrodu, ir-rata u l-istruttura tal-fluss tal-monomeru, ir-rata tal-polimerizzazzjoni, u l-istruttura u l-prestazzjoni tal-polimeru. Pereżempju, jekk il-volum tal-kamra tar-reazzjoni huwa 1L u tiġi adottata l-polimerizzazzjoni tal-plażma RF, il-qawwa tal-ħruġ tkun fil-medda ta' 10~30W. Taħt dawn il-kundizzjonijiet, il-plażma ġġenerata tista' tinġabar flimkien biex tifforma film irqiq fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol. Ir-rata tat-tkabbir tal-film tal-polimerizzazzjoni tal-plażma tvarja skont il-provvista tal-enerġija, it-tip ta' monomeru u r-rata tal-fluss, u l-kundizzjonijiet tal-proċess. Ġeneralment, ir-rata tat-tkabbir hija 100nm/min~1um/min.
(6) Kejl tal-parametri fil-polimerizzazzjoni tal-plażma
Il-parametri tal-plażma u l-parametri tal-proċess li għandhom jitkejlu fil-polimerizzazzjoni tal-plażma jinkludu: vultaġġ tal-ħruġ, kurrent tal-ħruġ, frekwenza tal-ħruġ, temperatura tal-elettroni, densità, tip u konċentrazzjoni tal-grupp ta' reazzjoni, eċċ.
——Dan l-artiklu ġie ppubblikat minn Guangdong Zhenhua Technology, kumpanijamanifattur ta' magni tal-kisi ottiku.
Ħin tal-posta: 5 ta' Mejju 2023