Teknoloġija ta' depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni

It-teknoloġija tad-depożizzjoni assistita b'raġġ joniku hija t-teknoloġija tal-injezzjoni b'raġġ joniku u l-kisi tad-depożizzjoni tal-fwar flimkien mat-teknoloġija tal-ipproċessar kompost tal-wiċċ tal-joni. Fil-proċess ta' modifikazzjoni tal-wiċċ ta' materjali injettati bil-joni, kemm jekk materjali semikondutturi jew materjali tal-inġinerija, ħafna drabi jkun mixtieq li l-ħxuna tas-saff modifikat tkun ħafna akbar minn dik tal-impjantazzjoni tal-joni, iżda trid ukoll iżżomm il-vantaġġi tal-proċess tal-injezzjoni tal-joni, bħall-interfaċċja qawwija bejn is-saff modifikat u s-sottostrat, tista' tiġi pproċessata f'temperatura tal-kamra tal-biċċa tax-xogħol, eċċ. Għalhekk, billi tgħaqqad l-impjantazzjoni tal-joni mat-teknoloġija tal-kisi, joni b'ċerta enerġija jiġu injettati kontinwament fl-interfaċċja bejn il-film u s-sottostrat waqt il-kisi, u l-atomi interfaċċjali jitħalltu bl-għajnuna ta' ħabtiet kaskata, u jiffurmaw żona ta' transizzjoni għat-taħlit tal-atomi ħdejn l-interfaċċja inizjali biex titjieb il-forza tat-twaħħil bejn il-film u s-sottostrat. Imbagħad, fuq iż-żona tat-taħlit tal-atomi, il-film bil-ħxuna u l-proprjetajiet meħtieġa jkompli jikber bil-parteċipazzjoni tar-raġġ joniku.

Dan jissejjaħ Depożizzjoni Assistita minn Raġġ ta' Joni (IBED), li żżomm il-karatteristiċi tal-proċess ta' impjantazzjoni tal-joni filwaqt li tippermetti li s-sottostrat ikun miksi b'materjal ta' film irqiq li huwa kompletament differenti mis-sottostrat.

Id-depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni għandha l-vantaġġi li ġejjin.

(1) Peress li d-depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni tiġġenera plażma mingħajr skariku ta' gass, il-kisi jista' jsir bi pressjoni ta' <10-2 Pa, u b'hekk titnaqqas il-kontaminazzjoni tal-gass.

(2) Il-parametri bażiċi tal-proċess (enerġija tal-jone, densità tal-jone) huma elettriċi. Ġeneralment m'hemmx bżonn li tikkontrolla l-fluss tal-gass u parametri oħra mhux elettriċi, tista' faċilment tikkontrolla t-tkabbir tas-saff tal-film, taġġusta l-kompożizzjoni u l-istruttura tal-film, faċli biex tiżgura r-ripetibbiltà tal-proċess.

(3) Il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol jista' jkun miksi b'film li huwa kompletament differenti mis-sottostrat u l-ħxuna mhix limitata mill-enerġija tal-joni tal-bumbardament f'temperatura baxxa (<200℃). Huwa adattat għat-trattament tal-wiċċ ta' films funzjonali ddoppjati, forom ta' preċiżjoni maħduma bil-kesħa u azzar strutturali ttemprat f'temperatura baxxa.

(4) Huwa proċess mhux f'ekwilibriju kkontrollat ​​f'temperatura tal-kamra. Films funzjonali ġodda bħal fażijiet f'temperatura għolja, fażijiet sustabbli, ligi amorfi, eċċ. jistgħu jinkisbu f'temperatura tal-kamra.

L-iżvantaġġi tad-depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni huma.

(1) Minħabba li r-raġġ tal-joni għandu karatteristiċi ta' radjazzjoni diretta, huwa diffiċli li tittratta l-għamla kumplessa tal-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol

(2) Huwa diffiċli li jiġu ttrattati biċċiet tax-xogħol fuq skala kbira u erja kbira minħabba l-limitazzjoni tad-daqs tal-fluss tar-raġġ tal-joni.

(3) Ir-rata ta' depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni ġeneralment hija madwar 1nm/s, li hija adattata għall-preparazzjoni ta' saffi ta' film irqiq, u mhijiex adattata għall-kisi ta' kwantitajiet kbar ta' prodotti.

–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua