प्लाझ्मा डायरेक्ट पॉलिमरायझेशन प्रक्रिया
अंतर्गत इलेक्ट्रोड पॉलिमरायझेशन उपकरणे आणि बाह्य इलेक्ट्रोड पॉलिमरायझेशन उपकरणे दोन्हीसाठी प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनची प्रक्रिया तुलनेने सोपी आहे, परंतु प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये पॅरामीटर निवड अधिक महत्त्वाची असते, कारण प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन दरम्यान पॉलिमर फिल्म्सच्या संरचनेवर आणि कार्यक्षमतेवर पॅरामीटर्सचा जास्त प्रभाव पडतो.
डायरेक्ट प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनसाठी ऑपरेशनचे टप्पे खालीलप्रमाणे आहेत:
(१) व्हॅक्यूमिंग
व्हॅक्यूम परिस्थितीत पॉलिमरायझेशनचे पार्श्वभूमी व्हॅक्यूम 1.3×10-1Pa पर्यंत पंप केले पाहिजे. ऑक्सिजन किंवा नायट्रोजन सामग्री नियंत्रित करण्यासाठी विशेष आवश्यकता असलेल्या पॉलिमरायझेशन अभिक्रियांसाठी, पार्श्वभूमी व्हॅक्यूमची आवश्यकता आणखी जास्त असते.
(२) वाहक वायू आणि मोनोमरचा चार्ज रिअॅक्शन मोनोमर किंवा मिश्रित वायू
व्हॅक्यूम डिग्री १३-१३०Pa आहे. प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनसाठी काम आवश्यक असलेल्यासाठी, योग्य प्रवाह नियंत्रण मोड आणि प्रवाह दर निवडला पाहिजे, साधारणपणे १०.१०० मिली/मिनिट. प्लाझ्मामध्ये, मोनोमर रेणू ऊर्जावान कणांच्या बॉम्बस्फोटाद्वारे आयनीकृत आणि विलग केले जातात, परिणामी आयन आणि सक्रिय जीन्ससारखे सक्रिय कण तयार होतात. प्लाझ्माद्वारे सक्रिय केलेले सक्रिय कण गॅस फेज आणि सॉलिड फेजच्या इंटरफेसवर प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमधून जाऊ शकतात. मोनोमर प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनसाठी पूर्वसूचक स्त्रोत आहे आणि इनपुट रिअॅक्शन गॅस आणि मोनोमरमध्ये विशिष्ट शुद्धता असणे आवश्यक आहे.
(३) उत्तेजित वीज पुरवठ्याची निवड
पॉलिमरायझेशनसाठी प्लाझ्मा वातावरण प्रदान करण्यासाठी डीसी, उच्च-फ्रिक्वेन्सी, आरएफ किंवा मायक्रोवेव्ह पॉवर स्रोतांचा वापर करून प्लाझ्मा तयार केला जाऊ शकतो. पॉलीमरच्या संरचनेसाठी आणि कार्यक्षमतेच्या आवश्यकतांवर आधारित वीज पुरवठ्याची निवड निश्चित केली जाते.
(४) डिस्चार्ज मोडची निवड
पॉलिमर आवश्यकतांसाठी, प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन दोन डिस्चार्ज मोड निवडू शकते: सतत डिस्चार्ज किंवा पल्स डिस्चार्ज.
(५) डिस्चार्ज पॅरामीटर्सची निवड
प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन करताना, प्लाझ्मा पॅरामीटर्स, पॉलिमर गुणधर्म आणि संरचना आवश्यकतांनुसार डिस्चार्ज पॅरामीटर्स विचारात घेतले पाहिजेत. पॉलिमरायझेशन दरम्यान लागू केलेल्या पॉवरचे परिमाण व्हॅक्यूम चेंबरचे आकारमान, इलेक्ट्रोड आकार, मोनोमर प्रवाह दर आणि रचना, पॉलिमरायझेशन दर आणि पॉलिमर रचना आणि कामगिरी यावरून निश्चित केले जाते. उदाहरणार्थ, जर रिअॅक्शन चेंबरचे आकारमान 1L असेल आणि RF प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन स्वीकारले गेले तर डिस्चार्ज पॉवर 10~30W च्या श्रेणीत असेल. अशा परिस्थितीत, तयार होणारा प्लाझ्मा वर्कपीसच्या पृष्ठभागावर एक पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी एकत्रित होऊ शकतो. प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन फिल्मचा वाढीचा दर वीज पुरवठा, मोनोमर प्रकार आणि प्रवाह दर आणि प्रक्रियेच्या परिस्थितीनुसार बदलतो. साधारणपणे, वाढीचा दर 100nm/मिनिट~1um/मिनिट असतो.
(६) प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये पॅरामीटर मापन
प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये मोजले जाणारे प्लाझ्मा पॅरामीटर्स आणि प्रक्रिया पॅरामीटर्समध्ये हे समाविष्ट आहे: डिस्चार्ज व्होल्टेज, डिस्चार्ज करंट, डिस्चार्ज वारंवारता, इलेक्ट्रॉन तापमान, घनता, प्रतिक्रिया गट प्रकार आणि एकाग्रता इ.
——हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ टेक्नॉलॉजीने प्रकाशित केला आहे, एऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे निर्माता.
पोस्ट वेळ: मे-०५-२०२३