БҮТЭЭГДЭХҮҮНИЙ ТОДОРХОЙЛОЛТ

Тоног төхөөрөмжийн давуу тал

1. Гүн нүхний бүрээсийг оновчтой болгох

Гүн нүхэнд бүрэх онцгой технологи: Zhenhua Vacuum-ийн өөрөө хөгжүүлсэн гүн нүхний бүрээсийн технологи нь 30 микрометр хүртэлх жижиг нүхэнд ч гэсэн 10:1 харьцаатай дээд зэргийн харьцаатай байж, нарийн төвөгтэй гүн нүхний байгууламжийг бүрэх сорилтыг даван туулж чадна.

2. Тохируулах боломжтой, өөр өөр хэмжээтэй байхыг дэмждэг

600×600мм / 510×515мм ба түүнээс дээш үзүүлэлт бүхий янз бүрийн хэмжээтэй шилэн субстратыг дэмждэг.

3. Процессын уян хатан байдал, олон материалтай нийцдэг

Уг төхөөрөмж нь Cu, Ti, W, Ni, Pt гэх мэт дамжуулагч эсвэл функциональ нимгэн хальсан материалтай нийцэж, цахилгаан дамжуулах чанар, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлын өөр өөр хэрэглээний хэрэгцээг хангадаг.

4. Тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагаа, засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар

Тоног төхөөрөмж нь автомат параметрийн тохируулга, хальсны зузааны жигд байдлыг бодит цаг хугацаанд хянах боломжийг олгодог ухаалаг хяналтын системээр тоноглогдсон; Энэ нь засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар, зогсолтыг багасгадаг модульчлагдсан загвартай.

Хэрэглээ:TGV/TSV/TMV дэвшилтэт савлагаанд ашиглах боломжтой, ≥10:1 харьцаатай гүн нүхний үрийн давхаргыг бүрэх чадвартай.