അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജി എന്നത് അയോൺ സർഫസ് കോമ്പോസിറ്റ് പ്രോസസ്സിംഗ് ടെക്നോളജിയുമായി സംയോജിപ്പിച്ചിരിക്കുന്ന അയോൺ ബീം ഇഞ്ചക്ഷൻ, നീരാവി ഡിപ്പോസിഷൻ കോട്ടിംഗ് ടെക്നോളജിയാണ്. അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളോ എഞ്ചിനീയറിംഗ് മെറ്റീരിയലുകളോ ആകട്ടെ, അയോൺ ഇൻജക്റ്റ് ചെയ്ത വസ്തുക്കളുടെ ഉപരിതല പരിഷ്കരണ പ്രക്രിയയിൽ, പരിഷ്കരിച്ച പാളിയുടെ കനം അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷനേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലായിരിക്കണമെന്ന് പലപ്പോഴും ആഗ്രഹിക്കുന്നു, എന്നാൽ അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ പ്രക്രിയയുടെ ഗുണങ്ങൾ നിലനിർത്താൻ ആഗ്രഹിക്കുന്നു, അതായത് പരിഷ്കരിച്ച പാളി, ഷാർപ്പ് ഇന്റർഫേസിനിടയിലുള്ള സബ്സ്ട്രേറ്റ് എന്നിവ മുറിയിലെ താപനിലയിൽ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, മുതലായവ. അതിനാൽ, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, ഒരു നിശ്ചിത ഊർജ്ജമുള്ള അയോണുകൾ കോട്ടിംഗ് ചെയ്യുമ്പോൾ ഫിലിമിനും സബ്സ്ട്രേറ്റിനും ഇടയിലുള്ള ഇന്റർഫേസിലേക്ക് തുടർച്ചയായി കുത്തിവയ്ക്കുന്നു, കൂടാതെ ഇന്റർഫേഷ്യൽ ആറ്റങ്ങളെ കാസ്കേഡ് കൊളീഷനുകളുടെ സഹായത്തോടെ കലർത്തി, ഫിലിമിനും സബ്സ്ട്രേറ്റിനും ഇടയിലുള്ള ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്സ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് പ്രാരംഭ ഇന്റർഫേസിന് സമീപം ഒരു ആറ്റം മിക്സിംഗ് ട്രാൻസിഷൻ സോൺ രൂപപ്പെടുത്തുന്നു. തുടർന്ന്, ആറ്റം മിക്സിംഗ് സോണിൽ, അയോൺ ബീമിന്റെ പങ്കാളിത്തത്തോടെ ആവശ്യമായ കനവും ഗുണങ്ങളുമുള്ള ഫിലിം വളരുന്നു.
ഇതിനെ അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ (IBED) എന്ന് വിളിക്കുന്നു, ഇത് അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ പ്രക്രിയയുടെ സവിശേഷതകൾ നിലനിർത്തുന്നു, അതേസമയം അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിന്ന് പൂർണ്ണമായും വ്യത്യസ്തമായ ഒരു നേർത്ത ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് അടിവസ്ത്രം പൂശാൻ അനുവദിക്കുന്നു.
അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപത്തിന് താഴെപ്പറയുന്ന ഗുണങ്ങളുണ്ട്.
(1) അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം വാതക ഡിസ്ചാർജ് ഇല്ലാതെ പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനാൽ, വാതക മലിനീകരണം കുറയ്ക്കുന്നതിന് <10-2 Pa മർദ്ദത്തിൽ പൂശാൻ കഴിയും.
(2) അടിസ്ഥാന പ്രക്രിയ പാരാമീറ്ററുകൾ (അയോൺ ഊർജ്ജം, അയോൺ സാന്ദ്രത) വൈദ്യുതമാണ്. സാധാരണയായി വാതക പ്രവാഹവും മറ്റ് നോൺ-ഇലക്ട്രിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകളും നിയന്ത്രിക്കേണ്ടതില്ല, നിങ്ങൾക്ക് ഫിലിം പാളിയുടെ വളർച്ച എളുപ്പത്തിൽ നിയന്ത്രിക്കാനും ഫിലിമിന്റെ ഘടനയും ഘടനയും ക്രമീകരിക്കാനും പ്രക്രിയയുടെ ആവർത്തനക്ഷമത ഉറപ്പാക്കാനും കഴിയും.
(3) വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലം അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിന്ന് തികച്ചും വ്യത്യസ്തമായ ഒരു ഫിലിം ഉപയോഗിച്ച് പൂശാൻ കഴിയും, കൂടാതെ കുറഞ്ഞ താപനിലയിൽ (<200℃) ബോംബാർഡ്മെന്റ് അയോണുകളുടെ ഊർജ്ജത്താൽ കനം പരിമിതപ്പെടുത്തിയിട്ടില്ല. ഡോപ്പ് ചെയ്ത ഫങ്ഷണൽ ഫിലിമുകൾ, കോൾഡ് മെഷീൻ ചെയ്ത പ്രിസിഷൻ മോൾഡുകൾ, ലോ ടെമ്പറേച്ചർ ടെമ്പർഡ് സ്ട്രക്ചറൽ സ്റ്റീൽ എന്നിവയുടെ ഉപരിതല ചികിത്സയ്ക്ക് ഇത് അനുയോജ്യമാണ്.
(4) ഇത് മുറിയിലെ താപനിലയിൽ നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്ന ഒരു സന്തുലിതമല്ലാത്ത പ്രക്രിയയാണ്. ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഘട്ടങ്ങൾ, സബ്സ്റ്റബിൾ ഘട്ടങ്ങൾ, അമോർഫസ് അലോയ്കൾ തുടങ്ങിയ പുതിയ ഫങ്ഷണൽ ഫിലിമുകൾ മുറിയിലെ താപനിലയിൽ ലഭിക്കും.
അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപത്തിന്റെ ദോഷങ്ങൾ ഇവയാണ്.
(1) അയോൺ ബീമിന് നേരിട്ടുള്ള വികിരണ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ഉള്ളതിനാൽ, വർക്ക്പീസിന്റെ സങ്കീർണ്ണമായ ഉപരിതല ആകൃതി കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നത് ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.
(2) അയോൺ ബീം സ്ട്രീമിന്റെ വലിപ്പത്തിലുള്ള പരിമിതി കാരണം വലിയ തോതിലുള്ളതും വലിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ളതുമായ വർക്ക്പീസുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നത് ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.
(3) അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപ നിരക്ക് സാധാരണയായി ഏകദേശം 1nm/s ആണ്, ഇത് നേർത്ത ഫിലിം പാളികൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമാണ്, കൂടാതെ വലിയ അളവിലുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ പ്ലേറ്റിംഗിന് അനുയോജ്യമല്ല.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: നവംബർ-16-2023