Законот за раст на слојот на филмска фолија со вакуумска испарување

За време на обложувањето со испарување, нуклеацијата и растот на филмскиот слој се основа на различни технологии за јонско обложување.

1. Нуклеација

Inтехнологија на вакуумско испарување на облогатаОткако честичките од филмскиот слој ќе испарат од изворот на испарување во форма на атоми, тие летаат директно кон обработливото парче во висок вакуум и го формираат филмскиот слој преку нуклеација и раст на површината на обработливото парче. За време на вакуумско испарување, енергијата на атомите од филмскиот слој што излегуваат од изворот на испарување е околу 0,2 eV. Кога кохезијата помеѓу честичките од филмскиот слој е поголема од силата на сврзување помеѓу атомите на филмскиот слој и обработливото парче, се формира островско јадро. Еден атом од филмскиот слој останува на површината на обработливото парче во текот на одреден временски период, правејќи неправилно движење, дифузија, миграција или судир со други атоми за да формира атомски кластери. Бројот на атоми во атомскиот кластер достигнува одредена критична вредност, се формира стабилно јадро, наречено хомогено обликувано јадро.

мазна и содржи многу дефекти и чекори, што предизвикува разлика во силата на адсорпција на различните делови од работното парче кон радиоактивните атоми. Енергијата на адсорпција на површината на дефектот е поголема од онаа на нормалната површина, па затоа станува активен центар, што е погодно за преференцијално нуклеирање, наречено хетерогено нуклеирање. Кога кохезивната сила е еднаква на силата на врзување, или силата на врзување помеѓу атомите на мембраната и работното парче е поголема од кохезивната сила помеѓу атомите на мембраната, се формира ламеларна структура. Во технологијата на јонско позлатување, во повеќето случаи се формира островско јадро.

2.Растот

Откако ќе се формира јадрото на филмот, тоа продолжува да расте со заробување на инцидентните атоми. Островите растат и се комбинираат едни со други за да формираат поголеми хемисфери, постепено формирајќи слој од хемисферичен остров кој се шири по површината на работниот дел.

Кога атомската енергија на филмскиот слој е висока, таа може доволно да дифундира на површината и може да се формира мазен континуиран филм кога последователните дојдовни атомски јата се мали. Ако дифузијата на атомите на површината е слаба, а големината на наталожените јата е голема, тие постојат како големи полуостровски јадра. Врвот на островското јадро има силен ефект на засенчување на конкавниот дел, односно „ефект на сенка“. Проекцијата на површината е поповолна за зафаќање на последователните таложења на атоми и преференцијален раст, што резултира со зголемен степен на конкавност на површината за да се формираат конусни или столбови кристали со доволна големина. Се формираат пенетрирачки празнини помеѓу конусните кристали и вредноста на површинската грубост се зголемува. Фино ткиво може да се добие при висок вакуум, со намалување на степенот на вакуум, микроструктурата на мембраната станува сè подебела и подебела.