A párologtató bevonat során a filmréteg gócképződése és növekedése a különböző ionos bevonási technológiák alapja
1.Gomképződés
Invákuumpárologtató bevonat technológia,miután a filmréteg részecskéi a párolgási forrásból atomok formájában elpárolognak, nagyvákuumban közvetlenül a munkadarabra repülnek, és a munkadarab felületén gócképződéssel és növekedéssel alakítják ki a filmréteget.A vákuumpárologtatás során a párolgási forrásból kilépő filmréteg atomjainak energiája körülbelül 0,2 eV.Ha a filmréteg részecskéi közötti kohézió nagyobb, mint a fóliaréteg atomjai és a munkadarab közötti kötőerő, akkor szigetmagot képeznek.Egy filmrétegű atom a munkadarab felületén marad egy ideig, szabálytalan mozgást, diffúziót, migrációt vagy más atomokkal való ütközést végezve atomklasztereket képezve Az atomhalmazban lévő atomok száma elér egy bizonyos kritikus értéket, stabil sejtmag képződik, amelyet homogén alakú magnak neveznek.
sima, és sok hibát és lépést tartalmaz, ami a munkadarab különböző részeinek adszorpciós erejének különbségét okozza a radioaktív atomokhoz.A defektus felületének adszorpciós energiája nagyobb, mint a normál felületé, így ez lesz az aktív centrum, amely elősegíti a preferenciális nukleációt, az úgynevezett heterogén nukleációt.Ha a kohéziós erő egyenlő a kötőerővel, vagy a membránatomok és a munkadarab közötti kötőerő nagyobb, mint a membránatomok közötti kohéziós erő, akkor kialakul a lamellás szerkezet.Az ionozási technológiában a legtöbb esetben szigetmagot alakítanak ki.
2.Növekedés
Miután a film magja kialakult, a beeső atomok csapdába ejtésével tovább növekszik. A szigetek növekednek és egyesülnek egymással, hogy nagyobb félgömböket képezzenek, fokozatosan félgömb alakú szigetréteget képezve, amely szétterül a munkadarab felületén.
Ha a filmréteg atomenergiája nagy, akkor kellően tud diffundálni a felületen, és sima, folytonos film képződhet, ha a később érkező atomklaszterek kicsik. Ha az atomok diffúziója a felületen gyenge, és a réteg mérete a lerakódott klaszterek nagyok, nagy félszigeti magokként léteznek. A szigetmag teteje erős árnyékoló hatást gyakorol a homorú részre, ez az „árnyékhatás”. A felület vetülete alkalmasabb a későbbi lerakódott atomok befogására. és preferenciális növekedés, aminek következtében a felületen egyre nagyobb a homorúság, és megfelelő méretű kúpos vagy oszlopos kristályok képződnek.A kúpos kristályok között áthatoló üregek keletkeznek, és a felületi érdesség értéke nő. Nagy vákuumban finom szövet nyerhető, a vákuumfok csökkenésével a membrán mikroszerkezete egyre vastagabbá válik.
Feladás időpontja: 2023. május 24