Парга әйләндерү белән каплау вакытында, пленка катламының барлыкка килүе һәм үсеше төрле ион каплау технологияләренең нигезе булып тора.
1. Ядрә барлыкка килү
Inвакуум парга әйләндерү белән каплау технологиясеПленка катламы кисәкчәләре парга әйләнү чыганагыннан атомнар рәвешендә парга әйләнгәннән соң, алар югары вакуумда турыдан-туры эш кисәгенә очалар һәм эш кисәге өслегендә үсү һәм ядрәләнү юлы белән пленка катламын барлыкка китерәләр. Вакуум парга әйләнү вакытында парга әйләнү чыганагыннан чыккан пленка катламы атомнарының энергиясе якынча 0,2 эВ тәшкил итә. Пленка катламы кисәкчәләре арасындагы бәйләнеш пленка катламы һәм эш кисәге атомнары арасындагы бәйләнеш көченнән зуррак булганда, утрау төше барлыкка килә. Бер пленка катламы атомы эш кисәге өслегендә вакыт дәвамында тәртипсез хәрәкәт, диффузия, миграция яки башка атомнар белән бәрелешү ясап атом кластерларын барлыкка китерә. Атом кластерындагы атомнар саны билгеле бер критик кыйммәткә җиткәч, гомоген формадагы төш дип аталган тотрыклы төш барлыкка килә.
шома һәм күп кимчелекләр һәм баскычлар бар, бу эш материалының төрле өлешләренең радиоактив атомнарга адсорбция көчендә аерма тудыра. Кимчелек өслегенең адсорбция энергиясе гадәти өслекнекеннән зуррак, шуңа күрә ул актив үзәккә әйләнә, бу өстенлекле ядролануга ярдәм итә, ул гетероген ядролану дип атала. Когезик көч бәйләү көченә тигез булганда, яки мембрана атомнары белән эш материалы арасындагы бәйләү көче мембрана атомнары арасындагы когезик көчтән зуррак булганда, пластиналы структура барлыкка килә. Ион каплау технологиясендә күпчелек очракта утрау үзәге барлыкка килә.
2. Үсеш
Пленканың үзәге формалашкач, ул төшкән атомнарны тотып үсүен дәвам итә. Утраулар үсә һәм бер-берсе белән кушылып, зуррак ярымшарлар барлыкка китерә, әкренләп эшләнгән кисәк өслегенә таралган ярымшарсыман утрау катламы барлыкка китерә.
Пленка катламының атом энергиясе югары булганда, ул өслеккә җитәрлек дәрәҗәдә тарала ала, һәм аннан соңгы атом кластерлары кечкенә булганда шома өзлексез пленка барлыкка килергә мөмкин. Әгәр дә атомнарның өслеккә таралуы зәгыйфь булса һәм урнаштырылган кластерларның зурлыгы зур булса, алар зур ярымутрау төшләре буларак булалар. Утрау үзәгенең өске өлеше чокырлы өлешкә көчле күләгәләү эффектына ия, бу "күләгә эффекты". Өслекнең проекциясе аннан соңгы урнаштырылган атомнарны тоту һәм өстенлекле үсеш өчен уңайлырак, нәтиҗәдә, өслектә чокырлык дәрәҗәсе арта, җитәрлек зурлыктагы конус яки баганасыман кристаллар барлыкка килә. Конуссыман кристаллар арасында үтеп керүче бушлыклар барлыкка килә һәм өслекнең тигезсезлеге арта. Нечкә тукымалар югары вакуумда алынырга мөмкин, вакуум дәрәҗәсе кимү белән мембрананың микроструктурасы калыная һәм калыная бара.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 24 мае