የቫኩም ትነት ሽፋን የፊልም ንብርብር የእድገት ህግ

በትነት ሽፋን ወቅት, የፊልም ሽፋን ኒዩክሊየሽን እና እድገቱ የተለያዩ የ ion ሽፋን ቴክኖሎጂ መሰረት ነው

1.Nucleation

Inየቫኩም ትነት ሽፋን ቴክኖሎጂየፊልም ንብርብር ቅንጣቶች አተሞች መልክ በትነት ምንጭ ከ ተነነ በኋላ, ከፍተኛ ቫክዩም ውስጥ workpiece ወደ በቀጥታ መብረር እና workpiece ወለል ላይ nucleation እና እድገት በማድረግ ፊልም ንብርብር ይመሰርታሉ.በቫክዩም ትነት ጊዜ፣ ከትነት ምንጭ የሚወጣው የፊልም ንብርብር አተሞች ኃይል 0.2eV አካባቢ ነው።በፊልሙ ንብርብር ቅንጣቶች መካከል ያለው ቅንጅት በፊልሙ ንብርብር አተሞች እና በስራው ክፍል መካከል ካለው ትስስር ኃይል የበለጠ በሚሆንበት ጊዜ የደሴት አስኳል ይመሰረታል።ነጠላ የፊልም ንብርብር አቶም መደበኛ ያልሆነ እንቅስቃሴ፣ ስርጭት፣ ፍልሰት ወይም ከሌሎች አተሞች ጋር ግጭት በመፍጠር በአቶሚክ ክላስተር ውስጥ ያለው የአተሞች ብዛት የተወሰነ ወሳኝ እሴት ላይ ይደርሳል፣ የተረጋጋ ኒውክሊየስ ተመስርቷል, ተመሳሳይ ቅርጽ ያለው ኒውክሊየስ ይባላል.

ለስላሳ, እና ብዙ ጉድለቶች እና ደረጃዎች ይዟል, ይህም ወደ workpiece የተለያዩ ክፍሎች adsorption ኃይል ውስጥ ያለውን ልዩነት ወደ ሬዲዮአክቲቭ አተሞች ያስከትላል.ጉድለቱ ላይ ያለው የማስታወቂያ ኃይል ከመደበኛው ወለል የበለጠ ነው ፣ ስለሆነም ንቁ ማእከል ይሆናል ፣ እሱም ለቅድመ-ነክነት ተስማሚ ፣ heterogeneous nucleation ይባላል።የተቀናጀ ኃይል ከማስያዣው ኃይል ጋር እኩል ከሆነ ወይም በሜምፕል አተሞች እና በ workpiece መካከል ያለው ትስስር ከሽፋን አተሞች መካከል ካለው ትስስር ኃይል የበለጠ ከሆነ የላሜራ መዋቅር ይፈጠራል።በ ion plating ቴክኖሎጂ ውስጥ, ደሴት ኮር በአብዛኛዎቹ ሁኔታዎች ይመሰረታል.

2. እድገት

የፊልሙ እምብርት ከተፈጠረ በኋላ የተከሰቱትን አቶሞች በማጥመድ ማደጉን ይቀጥላል።ደሴቶቹ ያድጋሉ እና እርስ በእርሳቸው ይዋሃዳሉ ትላልቅ hemispheres , ቀስ በቀስ በ workpiece ወለል ላይ የሚዘረጋ ሄሚስፈርያል ደሴት ሽፋን ይፈጥራሉ.

የፊልም ንብርብር የአቶሚክ ሃይል ከፍ ባለበት ጊዜ በመሬቱ ላይ በበቂ ሁኔታ ሊሰራጭ ይችላል እና በቀጣይ የሚመጡ የአቶሚክ ስብስቦች ትንሽ ሲሆኑ ለስላሳ ተከታታይ ፊልም ሊፈጠር ይችላል.በላይኛው ላይ የአተሞች ስርጭት ደካማ ከሆነ እና መጠኑ አነስተኛ ከሆነ. የተከማቹ ስብስቦች ትልቅ ናቸው, እነሱ እንደ ትልቅ ባሕረ-ገብ ኒውክሊየስ ይገኛሉ. የደሴቲቱ እምብርት የላይኛው ክፍል በኮንካው ክፍል ላይ ኃይለኛ የጥላ ተጽእኖ አለው, ይህ "የጥላ ተፅእኖ" ነው. የመሬቱ ትንበያ ተከታይ የተከማቹ አተሞችን ለመያዝ የበለጠ አመቺ ነው. እና ተመራጭ እድገት፣ በዚህም ምክንያት በቂ መጠን ያላቸው ሾጣጣ ወይም ዓምዶች ክሪስታሎች እንዲፈጠሩ በላዩ ላይ የመነካካት ደረጃ ይጨምራል።በሾጣጣው ክሪስታሎች መካከል ዘልቆ የሚገባ ባዶዎች ይፈጠራሉ እና የንጣፉ ሸካራነት ዋጋ ይጨምራል ጥሩ ቲሹ በከፍተኛ ክፍተት ሊገኝ ይችላል, የቫኩም ዲግሪ ሲቀንስ, የሽፋኑ ማይክሮስትራክሽን የበለጠ ወፍራም እና ወፍራም ይሆናል.