Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd қош келдіңіз.
жалғыз_баннер

Вакуумды булану жабын пленка қабатының өсу заңы

Мақаланың көзі: Чжэнхуа вакуумы
Оқығандар: 10
Жарияланған: 23-05-24

Булану жабыны кезінде пленка қабатының ядролануы және өсуі әртүрлі ионды жабу технологиясының негізі болып табылады.

Чжэнфа-2

1.Ядролану

Inвакуумды булану жабыны технологиясы,Пленка қабатының бөлшектері булану көзінен атомдар түрінде буланған соң, олар жоғары вакуумда тікелей дайындамаға ұшып, дайындаманың бетінде ядролану және өсу арқылы пленка қабатын құрайды.Вакуумды булану кезінде булану көзінен шығатын пленка қабаты атомдарының энергиясы шамамен 0,2эВ құрайды.Пленка қабатының бөлшектері арасындағы когезия пленка қабатының атомдары мен дайындама арасындағы байланыстыру күшінен үлкен болса, арал ядросын құрайды.Бір қабықшалы атом дайындаманың бетінде ұзақ уақыт бойы тұрақты емес қозғалысты, диффузияны, миграцияны немесе атомдық кластерлерді құру үшін басқа атомдармен соқтығысады. Атомдық кластердегі атомдар саны белгілі бір сыни мәнге жетеді, тұрақты болады. біртекті пішінді ядро ​​деп аталатын ядро ​​түзіледі.

тегіс, және көптеген ақаулар мен қадамдарды қамтиды, бұл дайындаманың әртүрлі бөліктерінің радиоактивті атомдарға адсорбциялық күшінің айырмашылығын тудырады.Ақаудың бетінің адсорбциялық энергиясы қалыпты бетке қарағанда үлкен, сондықтан ол гетерогенді нуклеация деп аталатын артықшылықты нуклеацияға қолайлы белсенді орталыққа айналады.Біріктіру күші байланыстыру күшіне тең болғанда немесе мембрана атомдары мен дайындама арасындағы байланыстырушы күш мембрана атомдары арасындағы когезия күшінен үлкен болса, пластинкалық құрылым түзіледі.Ионмен қаптау технологиясында көп жағдайда арал өзегі қалыптасады.

2. Өсу

Пленканың өзегі пайда болғаннан кейін, ол түскен атомдарды ұстау арқылы өсуін жалғастырады. Аралдар өсіп, бір-бірімен қосылып, үлкен жарты шарларды құрайды, бірте-бірте дайындаманың бетіне таралатын жарты шар тәрізді арал қабатын құрайды.

Пленка қабатының атомдық энергиясы жоғары болғанда, ол бетінде жеткілікті түрде диффузиялануы мүмкін және одан кейінгі келетін атомдық кластерлер аз болған кезде тегіс үздіксіз пленка түзілуі мүмкін. Егер атомдардың бетіндегі диффузиясы әлсіз және өлшемі тұндырылған шоғырлар үлкен, олар үлкен түбек ядролары түрінде болады. Арал ядросының жоғарғы бөлігі ойыс бөлігіне күшті көлеңкелеуші ​​әсерге ие, яғни «көлеңке эффектісі». және артықшылықты өсу, нәтижесінде жеткілікті мөлшердегі конустық немесе бағаналы кристалдар түзу үшін бетіндегі ойыс дәрежесі артады.Конустық кристалдар арасында енетін қуыстар пайда болады және бетінің кедір-бұдырлығының мәні артады. Жұқа ұлпаны жоғары вакуумда алуға болады, вакуумдық дәрежесінің төмендеуімен мембрананың микроқұрылымы қалың және қалың болады.


Хабарлама уақыты: 24 мамыр 2023 ж