Aurustuskatmise ajal on kilekihi tuumastumine ja kasv erinevate ioonkatte tehnoloogiate aluseks.
1.Tuumastumine
Invaakumaurustuskatte tehnoloogiaPärast seda, kui kilekihi osakesed on aurustumisallikast aatomitena aurustunud, lendavad need kõrgvaakumis otse toorikule ja moodustavad tooriku pinnale tuumastumise ja kasvamise teel kilekihi.Vaakumaurustamise ajal on aurustumisallikast väljuvate kilekihi aatomite energia umbes 0,2 eV.Kui kilekihi osakeste vaheline sidusus on suurem kui sidejõud kilekihi aatomite ja tooriku vahel, moodustavad saaretuum.Ühe kilekihi aatom jääb tooriku pinnale aja jooksul, tehes ebaregulaarset liikumist, difusiooni, migratsiooni või kokkupõrget teiste aatomitega, moodustades aatomiklastreid Aatomite arv aatomiklastris saavutab teatud kriitilise väärtuse, stabiilse moodustub tuum, mida nimetatakse homogeense kujuga tuumaks.
sile ning sisaldab palju defekte ja samme, mis põhjustab tooriku erinevate osade adsorptsioonijõu erinevust radioaktiivsete aatomite suhtes.Defekti pinna adsorptsioonienergia on suurem kui normaalpinnal, seega muutub see aktiivseks keskuseks, mis soodustab eelistatud tuumade moodustumist, mida nimetatakse heterogeenseks tuumaks.Kui sidusjõud on võrdne sidumisjõuga või membraani aatomite ja tooriku vaheline sidumisjõud on suurem kui membraani aatomite vaheline sidusjõud, moodustub lamellstruktuur.Ioonplaadistamise tehnoloogias moodustatakse enamikul juhtudel saare südamik.
2.Kasv
Kui kile tuum on moodustunud, jätkab see kasvamist, püüdes kinni langevad aatomid. Saared kasvavad ja ühinevad üksteisega, moodustades suuremaid poolkerasid, moodustades järk-järgult poolkerakujulise saarekihi, mis levib üle tooriku pinna.
Kui kilekihi aatomienergia on kõrge, suudab see pinnal piisavalt difundeeruda ja moodustub sile pidev kile, kui järgnevad sissetulevad aatomiparved on väikesed. Kui aatomite difusioon pinnal on nõrk ja kile suurus on väike. ladestunud klastrid on suured, nad eksisteerivad suurte poolsaare tuumadena. Saare tuuma tipul on nõgusale osale tugev varjutusefekt, see on "varjuefekt". Pinna projektsioon soodustab järgnevate ladestunud aatomite hõivamist. ja eeliskasv, mille tulemuseks on pinna suurenev nõgusus, moodustades piisava suurusega koonusekujulisi või sammaskujulisi kristalle.Kooniliste kristallide vahele tekivad läbistavad tühimikud ja pinnakareduse väärtus suureneb. Peenkoe saadakse kõrgvaakumis, vaakumiastme vähenemisel muutub membraani mikrostruktuur aina paksemaks.
Postitusaeg: 24. mai-2023