Ууршилтын бүрэх явцад хальсан давхаргын цөмжилт ба өсөлт нь янз бүрийн ионы бүрэх технологийн үндэс суурь болдог.
1. Цөм үүсэх
Inвакуум ууршилтын бүрэх технологиКино давхаргын хэсгүүд ууршилтын эх үүсвэрээс атом хэлбэрээр ууршсаны дараа өндөр вакуумд шууд ажлын хэсэг рүү нисч, ажлын хэсгийн гадаргуу дээр цөм үүсч, ургах замаар хальсан давхарга үүсгэдэг. Вакуум ууршилтын үед ууршилтын эх үүсвэрээс зугтаж буй хальсан давхаргын атомуудын энерги ойролцоогоор 0.2 эВ байдаг. Кино давхаргын хэсгүүдийн хоорондох нэгдэл нь хальсан давхаргын атомууд болон ажлын хэсгийн атомуудын хоорондох холбооны хүчнээс их байх үед арлын цөм үүсдэг. Нэг хальсан давхаргын атом нь ажлын хэсгийн гадаргуу дээр жигд бус хөдөлгөөн, тархалт, шилжилт хөдөлгөөн эсвэл бусад атомуудтай мөргөлдөж атомын бөөгнөрөл үүсгэдэг. Атомын бөөгнөрөл дэх атомуудын тоо тодорхой чухал утгад хүрэхэд нэгэн төрлийн хэлбэртэй цөм гэж нэрлэгддэг тогтвортой цөм үүсдэг.
гөлгөр бөгөөд олон согог, шатлал агуулсан тул ажлын материалын янз бүрийн хэсгүүдийн цацраг идэвхт атомуудад шингээх хүчний зөрүүг үүсгэдэг. Согогийн гадаргуугийн адсорбцийн энерги нь хэвийн гадаргуугийнхаас их тул идэвхтэй төв болж, давуу эрхтэй цөмжилтийг бий болгодог бөгөөд үүнийг олон төрлийн цөмжилт гэж нэрлэдэг. Нэгтгэх хүч нь холбох хүчтэй тэнцүү эсвэл мембраны атомууд ба ажлын материалын хоорондох холболтын хүч нь мембраны атомуудын хоорондох нэгтгэх хүчнээс их байх үед ламеляр бүтэц үүсдэг. Ионы бүрэх технологид ихэнх тохиолдолд арлын цөм үүсдэг.
2. Өсөлт
Киноны цөм үүссэний дараа туссан атомуудыг барьж авснаар үргэлжлүүлэн ургасаар байдаг. Арлууд нь ургаж, бие биетэйгээ нийлж том бөмбөрцөг үүсгэдэг бөгөөд аажмаар ажлын хэсгийн гадаргуу дээр тархсан хагас бөмбөрцөг хэлбэртэй арлын давхарга үүсгэдэг.
Кино давхаргын атомын энерги өндөр байх үед гадаргуу дээр хангалттай тархаж, дараагийн атомын бөөгнөрөл бага байх үед жигд тасралтгүй хальс үүсч болно. Хэрэв гадаргуу дээрх атомуудын тархалт сул бөгөөд хуримтлагдсан бөөгнөрөлийн хэмжээ том байвал тэдгээр нь том хойгийн цөм хэлбэрээр оршдог. Арлын цөмийн дээд хэсэг нь хотгор хэсэгт хүчтэй сүүдэрлэх нөлөө үзүүлдэг бөгөөд энэ нь "сүүдрийн нөлөө" юм. Гадаргуугийн проекц нь дараагийн хуримтлагдсан атомуудыг барьж авах, давуу эрхтэй өсөлтийг бий болгоход илүү тохиромжтой бөгөөд үүний үр дүнд гадаргуу дээр хотгорын хэмжээ нэмэгдэж, хангалттай хэмжээтэй конус эсвэл багана хэлбэртэй талстууд үүсдэг. Конус хэлбэрийн талстуудын хооронд нэвтрэн орох хоосон зай үүсч, гадаргуугийн барзгаржилтын утга нэмэгддэг. Нарийн эдийг өндөр вакуумд гаргаж авах боломжтой бөгөөд вакуумын зэрэг буурах тусам мембраны бичил бүтэц улам зузаан болдог.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 5-р сарын 24