Under fordampningsbelegg er kjernedannelse og vekst av filmlaget grunnlaget for forskjellige ionebeleggsteknologier
1.Kjerning
Invakuumfordampningsbeleggteknologi,etter at filmlagpartiklene er fordampet fra fordampningskilden i form av atomer, flyr de direkte til arbeidsstykket i høyvakuum og danner filmlaget ved kjernedannelse og vekst på overflaten av arbeidsstykket.Under vakuumfordampning er energien til filmlagsatomer som slipper ut fra fordampningskilden omtrent 0,2 eV.Når kohesjonen mellom partiklene i filmlaget er større enn bindingskraften mellom atomene i filmlaget og arbeidsstykket, dannes en øykjerne.Et enkelt filmlagsatom forblir på overflaten av arbeidsstykket i løpet av tiden og gjør uregelmessig bevegelse, diffusjon, migrasjon eller kollisjon med andre atomer for å danne atomklynger Antall atomer i atomklyngen når en viss kritisk verdi, en stabil kjerne dannes, kalt en homogen formet kjerne.
glatt, og inneholder mange defekter og trinn, noe som forårsaker forskjellen i adsorpsjonskraften til forskjellige deler av arbeidsstykket til de radioaktive atomene.Adsorpsjonsenergien til overflaten av defekten er større enn den til den normale overflaten, så den blir det aktive senteret, noe som bidrar til foretrukket kjernedannelse, kalt heterogen kjernedannelse.Når kohesivkraften er lik bindingskraften, eller bindingskraften mellom membranatomene og arbeidsstykket er større enn kohesivkraften mellom membranatomene, dannes den lamellære strukturen.I ionpletteringsteknologi dannes øykjerne i de fleste tilfeller.
2. Vekst
Når kjernen av filmen er dannet, fortsetter den å vokse ved å fange de innfallende atomene. Øyene vokser og kombineres med hverandre for å danne større halvkuler, og danner gradvis et halvkuleformet øylag som sprer seg over overflaten av arbeidsstykket.
Når atomenergien til filmlaget er høy, kan den diffundere tilstrekkelig på overflaten og en jevn kontinuerlig film kan dannes når de påfølgende innkommende atomklynger er små. Hvis diffusjonen av atomene på overflaten er svak og størrelsen på de avsatte klyngene er store, de eksisterer som store halvøyekjerner. Toppen av øykjernen har en sterk skyggeeffekt på den konkave delen, det vil si "skyggeeffekten". Projeksjonen av overflaten er mer egnet til å fange opp påfølgende avsatte atomer og foretrukket vekst, noe som resulterer i en økende grad av konkavitet på overflaten for å danne koniske eller søyleformede krystaller av tilstrekkelig størrelse.Gjennomtrengende hulrom dannes mellom de koniske krystallene og overflateruhetsverdien øker. Fint vev kan oppnås ved høyvakuum, med reduksjon av vakuumgraden blir mikrostrukturen til membranen tykkere og tykkere.
Innleggstid: 24. mai 2023