Tijekom premazivanja isparavanjem, nukleacija i rast sloja filma temelj su raznih tehnologija ionskog premazivanja
1. Nukleacija
Intehnologija premazivanja vakuumskim isparavanjemNakon što čestice sloja filma ispare iz izvora isparavanja u obliku atoma, lete izravno na radni komad u visokom vakuumu i tvore sloj filma nukleacijom i rastom na površini obratka.Tijekom vakuumskog isparavanja, energija atoma sloja filma koji izlaze iz izvora isparavanja je oko 0,2 eV.Kada je kohezija između čestica sloja filma veća od sile vezivanja između atoma sloja filma i obratka, formira se jezgra otoka.Jedan atom sloja filma ostaje na površini obratka određeno vrijeme radeći nepravilno kretanje, difuziju, migraciju ili sudaranje s drugim atomima kako bi se formirale atomske skupine. Broj atoma u atomskoj skupini doseže određenu kritičnu vrijednost, stabilnu nastaje jezgra, koja se naziva jezgra homogenog oblika.
glatka i sadrži mnoge nedostatke i korake, što uzrokuje razliku u sili adsorpcije različitih dijelova obratka na radioaktivne atome.Energija adsorpcije površine defekta veća je od energije normalne površine, pa ona postaje aktivno središte, što pogoduje preferiranoj nukleaciji, koja se naziva heterogena nukleacija.Kada je kohezijska sila jednaka sili vezivanja ili je sila vezivanja između atoma membrane i obratka veća od sile kohezije između atoma membrane, nastaje lamelarna struktura.U tehnologiji ionske ploče u većini slučajeva nastaje otočna jezgra.
2.Rast
Nakon što se formira jezgra filma, ona nastavlja rasti hvatajući upadne atome. Otoci rastu i međusobno se spajaju u veće hemisfere, postupno formirajući polukuglasti otočni sloj koji se širi preko površine obratka.
Kada je atomska energija sloja filma visoka, može dovoljno difundirati na površini i može se formirati glatki kontinuirani film kada su nadolazeći atomski klasteri mali. Ako je difuzija atoma na površini slaba i veličina taloženi klasteri su veliki, postoje kao velike poluotočne jezgre. Vrh otočne jezgre ima snažan učinak sjenčanja na konkavnom dijelu, to je "efekt sjene". Projekcija površine pogodnija je za hvatanje naknadno taloženih atoma i preferencijalni rast, što rezultira sve većim stupnjem konkavnosti na površini kako bi se formirali stožasti ili stupčasti kristali dovoljne veličine.Između stožastih kristala stvaraju se prodorne šupljine i povećava se vrijednost hrapavosti površine. Fino tkivo se može dobiti pri visokom vakuumu, sa smanjenjem stupnja vakuuma, mikrostruktura membrane postaje sve deblja i deblja.
Vrijeme objave: 24. svibnja 2023