ஆவியாதல் பூச்சு முறையில், படல அடுக்கின் கருவாக்கமும் வளர்ச்சியுமே பல்வேறு அயனிப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பங்களின் அடிப்படையாக அமைகின்றன.
1. உட்கருவாக்கம்
Inவெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு தொழில்நுட்பம்ஆவியாக்க மூலத்திலிருந்து படல அடுக்குத் துகள்கள் அணுக்களின் வடிவில் ஆவியாக்கப்பட்ட பிறகு, அவை உயர் வெற்றிடத்தில் நேரடியாக வேலைப் பொருளை நோக்கிப் பறந்து, வேலைப் பொருளின் மேற்பரப்பில் கருவாக்கம் மற்றும் வளர்ச்சி மூலம் படல அடுக்கை உருவாக்குகின்றன. வெற்றிட ஆவியாக்கத்தின் போது, ஆவியாக்க மூலத்திலிருந்து தப்பிக்கும் படல அடுக்கு அணுக்களின் ஆற்றல் சுமார் 0.2eV ஆகும். படல அடுக்கின் துகள்களுக்கு இடையேயான ஒத்திணைப்பு, படல அடுக்கின் அணுக்களுக்கும் வேலைப் பொருளுக்கும் இடையேயான பிணைப்பு விசையை விட அதிகமாக இருக்கும்போது, ஒரு தனித்த கரு உருவாகிறது. ஒரு தனிப்பட்ட படல அடுக்கு அணு, வேலைப் பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு குறிப்பிட்ட காலத்திற்கு ஒழுங்கற்ற இயக்கம், பரவல், இடப்பெயர்வு அல்லது மற்ற அணுக்களுடன் மோதி அணுக் கொத்துக்களை உருவாக்குகிறது. அணுக் கொத்தில் உள்ள அணுக்களின் எண்ணிக்கை ஒரு குறிப்பிட்ட முக்கியமான மதிப்பை அடையும்போது, ஒரு நிலையான கரு உருவாகிறது, இது ஒருபடித்தான வடிவ கரு என்று அழைக்கப்படுகிறது.
மென்மையானதாகவும், பல குறைபாடுகள் மற்றும் படிநிலைகளைக் கொண்டதாகவும் இருப்பதால், வேலைப் பொருளின் வெவ்வேறு பாகங்களிலிருந்து கதிரியக்க அணுக்களுக்கான ஈர்ப்பு விசையில் வேறுபாடு ஏற்படுகிறது. குறைபாடுள்ள மேற்பரப்பின் ஈர்ப்பு ஆற்றல், சாதாரண மேற்பரப்பின் ஆற்றலை விட அதிகமாக உள்ளது, எனவே அது ஒரு செயலுறு மையமாக மாறுகிறது. இது முன்னுரிமை கருவாக்கத்திற்கு உகந்ததாகும், இது பல்லினக் கருவாக்கம் என்று அழைக்கப்படுகிறது. ஒத்திசைவு விசை பிணைப்பு விசைக்குச் சமமாக இருக்கும்போது, அல்லது சவ்வு அணுக்களுக்கும் வேலைப் பொருளுக்கும் இடையிலான பிணைப்பு விசை, சவ்வு அணுக்களுக்கு இடையிலான ஒத்திசைவு விசையை விட அதிகமாக இருக்கும்போது, தகடு போன்ற அமைப்பு உருவாகிறது. அயனி முலாம் பூசும் தொழில்நுட்பத்தில், பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில் தீவுக் கரு உருவாகிறது.
2. வளர்ச்சி
படலத்தின் மையப்பகுதி உருவானவுடன், அது படுகின்ற அணுக்களை உள்ளிழுத்துக்கொண்டு தொடர்ந்து வளர்கிறது. இந்தத் தீவுகள் வளர்ந்து ஒன்றோடொன்று இணைந்து பெரிய அரைக்கோளங்களை உருவாக்குகின்றன, படிப்படியாக ஒரு அரைக்கோளத் தீவுப் படலத்தை உருவாக்கி, அது வேலைப் பொருளின் மேற்பரப்பில் பரவுகிறது.
படல அடுக்கின் அணு ஆற்றல் அதிகமாக இருக்கும்போது, அது மேற்பரப்பில் போதுமான அளவு பரவுகிறது. மேலும், அதைத் தொடர்ந்து வரும் அணுத் தொகுப்புகள் சிறியதாக இருந்தால், ஒரு மென்மையான தொடர்ச்சியான படலம் உருவாகிறது. மேற்பரப்பில் அணுக்களின் பரவல் பலவீனமாகவும், படிந்த தொகுப்புகளின் அளவு பெரியதாகவும் இருந்தால், அவை பெரிய தீபகற்ப கருக்களாக உருவாகின்றன. தீவு மையத்தின் மேற்பகுதி, குழிவான பகுதியில் ஒரு வலுவான நிழலிடும் விளைவைக் கொண்டுள்ளது, இதுவே "நிழல் விளைவு" ஆகும். மேற்பரப்பின் நீட்சி, அதைத் தொடர்ந்து படியும் அணுக்களைப் பிடிப்பதற்கும் முன்னுரிமை வளர்ச்சிக்கும் மிகவும் உகந்ததாக உள்ளது. இதன் விளைவாக, போதுமான அளவுள்ள கூம்பு அல்லது தூண் வடிவப் படிகங்களை உருவாக்க, மேற்பரப்பில் குழிவின் அளவு அதிகரிக்கிறது. கூம்பு வடிவப் படிகங்களுக்கு இடையில் ஊடுருவும் வெற்றிடங்கள் உருவாகி, மேற்பரப்பின் சொரசொரப்பு மதிப்பு அதிகரிக்கிறது. உயர் வெற்றிடத்தில் மெல்லிய திசுவைப் பெறலாம்; வெற்றிடத்தின் அளவு குறையக் குறைய, சவ்வின் நுண் கட்டமைப்பு தடிமனாகிக்கொண்டே செல்கிறது.
பதிவிட்ட நேரம்: மே-24-2023