Sajrone lapisan penguapan, nukleasi lan pertumbuhan lapisan film minangka basis saka macem-macem teknologi lapisan ion.
1. Nukleasi
Inteknologi lapisan penguapan vakumSawise partikel lapisan film diuap saka sumber penguapan awujud atom, partikel kasebut mabur langsung menyang benda kerja kanthi vakum dhuwur lan mbentuk lapisan film kanthi nukleasi lan pertumbuhan ing permukaan benda kerja. Sajrone penguapan vakum, energi atom lapisan film sing metu saka sumber penguapan kira-kira 0,2 eV. Nalika kohesi antarane partikel lapisan film luwih gedhe tinimbang gaya ikatan antarane atom lapisan film lan benda kerja, mbentuk inti pulo. Atom lapisan film tunggal tetep ing permukaan benda kerja sajrone wektu sing ora teratur, nindakake gerakan, difusi, migrasi, utawa tabrakan karo atom liyane kanggo mbentuk kluster atom. Jumlah atom ing kluster atom tekan nilai kritis tartamtu, inti sing stabil dibentuk, sing diarani inti sing bentuke homogen.
alus, lan ngandhut akeh cacat lan langkah, sing nyebabake bedane gaya adsorpsi saka macem-macem bagean benda kerja menyang atom radioaktif. Energi adsorpsi permukaan cacat luwih gedhe tinimbang permukaan normal, saengga dadi pusat aktif, sing kondusif kanggo nukleasi preferensial, sing diarani nukleasi heterogen. Nalika gaya kohesif padha karo gaya pengikatan, utawa gaya pengikatan antarane atom membran lan benda kerja luwih gedhe tinimbang gaya kohesif antarane atom membran, struktur lamelar kawangun. Ing teknologi pelapisan ion, inti pulo kawangun ing umume kasus.
2. Tuwuhing
Sawise inti film kasebut kawangun, inti kasebut terus tuwuh kanthi njebak atom-atom sing mlebu. Pulo-pulo kasebut tuwuh lan gabung karo siji liyane kanggo mbentuk belahan bumi sing luwih gedhe, mboko sithik mbentuk lapisan pulo hemisfer sing nyebar ing lumahing benda kerja.
Nalika energi atom lapisan film dhuwur, bisa nyebar kanthi cukup ing permukaan lan film sing alus lan terus-terusan bisa dibentuk nalika kluster atom sing mlebu sabanjure cilik. Yen difusi atom ing permukaan ringkih lan ukuran kluster sing diendapkan gedhe, dheweke ana minangka inti semenanjung sing gedhe. Bagian ndhuwur inti pulo nduweni efek bayangan sing kuwat ing bagean cekung, yaiku "efek bayangan". Proyeksi permukaan luwih kondusif kanggo nangkep atom sing diendapkan sabanjure lan pertumbuhan preferensial, sing nyebabake tingkat cekung sing saya tambah ing permukaan kanggo mbentuk kristal kerucut utawa kolumnar kanthi ukuran sing cukup. Rongga penetrasi dibentuk ing antarane kristal kerucut lan nilai kekasaran permukaan mundhak. Jaringan alus bisa dipikolehi ing vakum dhuwur, kanthi penurunan derajat vakum, mikrostruktur membran dadi luwih kenthel.
Wektu kiriman: 24 Mei 2023