буулануу каптоо учурунда, пленка катмарынын ядролук жана өсүшү ар кандай ион каптоо технологиясынын негизи болуп саналат.
1. Nucleation
Inвакуумдук буулантуучу каптоо технологиясы,плёнка катмарынын бөлүкчөлөрү буулануу булагынан атомдор түрүндө буулангандан кийин, жогорку вакуумда түз даярдалган материалга учуп келип, нуклеациялануу жана даярдалган материалдын бетинде өсүү жолу менен пленка катмарын түзөт.Вакуумдук бууланууда буулануу булагынан чыккан пленка катмарынын атомдорунун энергиясы болжол менен 0,2эВ болот.Качан пленка катмарынын бөлүкчөлөрүнүн ортосундагы когезия пленка катмарынын атомдору менен даярдалган материалдын ортосундагы байланыш күчтөн чоң болсо, арал ядросун түзөт.Жалгыз пленка катмарынын атому бир калыпта эмес кыймылды, диффузияны, миграцияны же башка атомдор менен кагылышып, атомдук кластерлерди пайда кылуу үчүн даярдалган заттын бетинде убакыт бою калат. Атом кластериндеги атомдордун саны белгилүү бир критикалык мааниге, туруктуу ядро түзүлүп, бир тектүү формадагы ядро деп аталат.
жылмакай жана көптөгөн кемчиликтерди жана кадамдарды камтыйт, бул даярдалган материалдын ар кандай бөлүктөрүнүн радиоактивдүү атомдорго адсорбциялоо күчтөрүнүн айырмасын пайда кылат.Дефекттин бетинин адсорбциялык энергиясы нормалдуу беттикинен чоң, ошондуктан ал гетерогендүү нуклеация деп аталган артыкчылыктуу нуклеацияга ыңгайлуу болгон активдүү борборго айланат.Когезия күчү туташтыруучу күчкө барабар болгондо, же мембрана атомдору менен даярдалган материалдын ортосундагы бириктирүүчү күч мембрана атомдорунун ортосундагы бириктирүүчү күчтөн чоң болгондо, ламелдуу түзүлүш пайда болот.Ион жалатуу технологиясында көпчүлүк учурда аралдын өзөгү түзүлөт.
2. Өсүү
пленканын өзөгү пайда болгондон кийин, ал окуя atoms.The аралдар өсүп жана бири-бири менен биригип, бара-бара workpiece бетине жайылып жарым шар арал катмарын түзүү, чоң жарым шарларды түзүү менен өсө берет.
Пленка катмарынын атомдук энергиясы жогору болгондо, ал бетинде жетиштүү түрдө тарай алат жана кийинки келген атомдук кластерлер кичинекей болгондо жылмакай үзгүлтүксүз пленка пайда болушу мүмкүн. депонирленген кластерлер чоң, алар жарым аралдын чоң ядролору катары бар. Аралдын өзөгүнүн чокусу ойгон бөлүккө күчтүү көлөкө таасир этет, башкача айтканда, “көлөкө эффектиси”. Беттин проекциясы кийинки депозиттик атомдорду кармоого көбүрөөк ыңгайлуу. жана артыкчылыктуу өсүү, натыйжада жетишерлик өлчөмдөгү конус же мамычалык кристаллдарды пайда кылуу үчүн бетинде ойгонуу даражасы жогорулайт.Конус формасындагы кристаллдардын ортосунда өтүүчү боштуктар пайда болуп, беттин бүдүрлүүлүгү жогорулайт. Жука ткандарды жогорку вакуумда алууга болот, вакуумдук даражанын төмөндөшү менен мембрананын микроструктурасы калың жана жоон болуп калат.
Посттун убактысы: 24-май-2023