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진공 증착 코팅막층의 성장 법칙

기사 출처:Zhenhua 진공
읽기:10
게시됨:23-05-24

증발코팅시 피막층의 핵생성 및 성장은 다양한 이온코팅 기술의 근간

정파-2

1. 핵형성

In진공 증발 코팅 기술, 필름 층 입자가 증발원에서 원자 형태로 증발된 후 고진공 상태에서 가공물에 직접 날아가 가공물의 표면에서 핵 형성 및 성장에 의해 필름 층을 형성합니다.진공 증발 동안 증발원에서 탈출하는 필름 층 원자의 에너지는 약 0.2eV입니다.필름 층의 입자 사이의 응집력이 필름 층의 원자와 공작물 사이의 결합력보다 크면 섬 핵을 형성합니다.단일 막층의 원자가 불규칙한 움직임, 확산, 이동 또는 다른 원자와 충돌하여 일정 시간 동안 공작물 표면에 머물면서 원자 클러스터를 형성합니다. 원자 클러스터의 원자 수는 특정 임계 값에 도달합니다. 균질한 모양의 핵이라고 하는 핵이 형성됩니다.

매끄럽고 많은 결함과 단계를 포함하여 공작물의 다른 부분에서 방사성 원자에 대한 흡착력의 차이를 유발합니다.결함 표면의 흡착 에너지는 정상 표면보다 크므로 활성 중심이 되어 불균일 핵 생성이라는 우선적인 핵 생성에 도움이 됩니다.응집력이 결합력과 같거나 막 원자와 가공물 사이의 결합력이 막 원자 사이의 응집력보다 클 때 라멜라 구조가 형성된다.이온 도금 기술에서는 대부분의 경우 섬핵이 형성됩니다.

2.성장

필름의 코어가 형성되면 입사 원자를 포획하여 계속 성장합니다. 섬은 성장하고 서로 결합하여 더 큰 반구를 형성하고 점차적으로 공작물 표면에 퍼지는 반구형 섬 층을 형성합니다.

피막층의 원자 에너지가 높을 때 표면에 충분히 확산될 수 있으며 이후에 들어오는 원자 클러스터가 작을 때 매끄러운 연속 피막을 형성할 수 있습니다. 표면에 원자의 확산이 약하고 크기가 퇴적된 클러스터는 크며 큰 반도 핵으로 존재합니다. 섬 코어의 상단은 오목한 부분에 강한 음영 효과, 즉 "그림자 효과"가 있습니다. 표면의 투영은 후속 퇴적된 원자를 포착하는 데 더 도움이 됩니다. 충분한 크기의 원추형 또는 원주형 결정을 형성하기 위해 표면에 오목한 정도를 증가시키는 우선적인 성장.원추형 결정 사이에 관통 공극이 형성되어 표면 거칠기 값이 증가합니다. 고진공에서 미세한 조직을 얻을 수 있으며 진공도가 낮을수록 멤브레인의 미세 구조가 두껍고 두꺼워집니다.


게시 시간: 2023년 5월 24일