În timpul acoperirii prin evaporare, nuclearea și creșterea stratului de film sunt baza diferitelor tehnologii de acoperire cu ioni
1.Nuclearea
Intehnologie de acoperire prin evaporare în vidDupă ce particulele stratului de film sunt evaporate din sursa de evaporare sub formă de atomi, ele zboară direct către piesa de prelucrat în vid înalt și formează stratul de film prin nucleare și creștere pe suprafața piesei de prelucrat.În timpul evaporării în vid, energia atomilor stratului de film care scapă din sursa de evaporare este de aproximativ 0,2 eV.Când coeziunea dintre particulele stratului de film este mai mare decât forța de legătură dintre atomii stratului de film și piesa de prelucrat, formează un nucleu insulă.Un atom dintr-un singur strat de film rămâne pe suprafața piesei de prelucrat pe toată durata de timp, făcând mișcare neregulată, difuzie, migrare sau ciocnire cu alți atomi pentru a forma clustere atomice Numărul de atomi din clusterul atomic atinge o anumită valoare critică, o valoare stabilă. se formează nucleul, numit nucleu de formă omogenă.
netedă și conține multe defecte și trepte, ceea ce provoacă diferența în forța de adsorbție a diferitelor părți ale piesei de prelucrat la atomii radioactivi.Energia de adsorbție a suprafeței defectului este mai mare decât cea a suprafeței normale, așa că devine centrul activ, care este propice nucleării preferențiale, numită nucleare eterogenă.Când forța de coeziune este egală cu forța de legare sau forța de legare dintre atomii membranei și piesa de prelucrat este mai mare decât forța de coeziune dintre atomii membranei, se formează structura lamelară.În tehnologia de placare cu ioni, miezul insulei este format în majoritatea cazurilor.
2. Creștere
Odată ce nucleul filmului este format, acesta continuă să crească prin captarea atomilor incidenti. Insulele cresc și se combină între ele pentru a forma emisfere mai mari, formând treptat un strat insulă emisferic care se întinde pe suprafața piesei de prelucrat.
Când energia atomică a stratului de peliculă este mare, aceasta poate difuza suficient pe suprafață și se poate forma o peliculă continuă netedă atunci când grupurile atomice care apar ulterioare sunt mici. Dacă difuzia atomilor pe suprafață este slabă și dimensiunea de clusterele depuse sunt mari, ele există ca nuclee peninsulare mari. Vârful nucleului insulei are un efect puternic de umbrire asupra părții concave, adică „efectul de umbră”. Proiecția suprafeței este mai favorabilă captării atomilor depuși ulterioare. și creștere preferențială, rezultând un grad crescător de concavitate pe suprafață pentru a forma cristale conice sau columnare de dimensiune suficientă.Între cristalele conice se formează goluri penetrante, iar valoarea rugozității suprafeței crește. Țesutul fin se poate obține la vid înalt, odată cu scăderea gradului de vid, microstructura membranei devine din ce în ce mai groasă.
Ora postării: 24-mai-2023