Buharlaştırma kaplaması sırasında, film tabakasının çekirdeklenmesi ve büyümesi, çeşitli iyon kaplama teknolojisinin temelidir.
1. Çekirdeklenme
Invakumlu buharlaştırma kaplama teknolojisiFilm tabakası tanecikleri buharlaşma kaynağından atomlar halinde buharlaştıktan sonra yüksek vakumda doğrudan iş parçasına uçarlar ve iş parçası yüzeyinde çekirdeklenme ve büyüme ile film tabakasını oluştururlar.Vakum buharlaştırma sırasında, buharlaşma kaynağından kaçan film tabakası atomlarının enerjisi yaklaşık 0.2eV'dir.Film tabakasının parçacıkları arasındaki kohezyon, film tabakasının atomları ile iş parçası arasındaki bağ kuvvetinden daha büyük olduğunda, bir ada çekirdeği oluşturur.Tek bir film tabakası atomu, atomik kümeler oluşturmak için diğer atomlarla düzensiz hareket, difüzyon, göç veya çarpışma yaparak iş parçasının yüzeyinde bir süre kalır. homojen şekilli çekirdek adı verilen bir çekirdek oluşur.
Pürüzsüz ve iş parçasının farklı bölümlerinin radyoaktif atomlara adsorpsiyon kuvvetinde farklılığa neden olan birçok kusur ve adım içerir.Kusur yüzeyinin adsorpsiyon enerjisi normal yüzeyinkinden daha büyüktür, bu nedenle heterojen çekirdeklenme adı verilen tercihli çekirdeklenmeye elverişli olan aktif merkez haline gelir.Kohezyon kuvveti bağlama kuvvetine eşit olduğunda veya membran atomları ile iş parçası arasındaki bağlanma kuvveti, membran atomları arasındaki kohezyon kuvvetinden daha büyük olduğunda, katmanlı yapı oluşur.İyon kaplama teknolojisinde çoğu durumda ada çekirdek oluşur.
2. Büyüme
Filmin çekirdeği oluştuktan sonra, gelen atomları yakalayarak büyümeye devam eder. Adalar büyür ve birbirleriyle birleşerek daha büyük yarım küreler oluşturur ve yavaş yavaş iş parçasının yüzeyine yayılan yarım küre şeklindeki bir ada tabakasını oluşturur.
Film tabakasının atomik enerjisi yüksek olduğunda yüzeyde yeterince yayılabilir ve ardından gelen atom kümeleri küçük olduğunda pürüzsüz sürekli bir film oluşabilir. biriken kümeler büyüktür, büyük yarımada çekirdekleri olarak bulunurlar. Ada çekirdeğinin tepesi, içbükey kısım üzerinde güçlü bir gölgeleme etkisine sahiptir, bu "gölge etkisi"dir. ve yeterli boyutta konik veya sütunlu kristaller oluşturmak için yüzeyde artan bir içbükeylik derecesi ile sonuçlanan tercihli büyüme.Konik kristaller arasında nüfuz eden boşluklar oluşur ve yüzey pürüzlülük değeri artar. Yüksek vakumda ince doku elde edilebilir, vakum derecesinin azalmasıyla zarın mikro yapısı kalınlaşır ve kalınlaşır.
Gönderim zamanı: 24 Mayıs-2023