Semasa salutan penyejatan, nukleasi dan pertumbuhan lapisan filem adalah asas pelbagai teknologi salutan ion
1. Nukleasi
Inteknologi salutan penyejatan vakumSelepas zarah lapisan filem disejat dari sumber penyejatan dalam bentuk atom, ia terbang terus ke bahan kerja dalam vakum tinggi dan membentuk lapisan filem melalui nukleasi dan pertumbuhan pada permukaan bahan kerja. Semasa penyejatan vakum, tenaga atom lapisan filem yang terlepas dari sumber penyejatan adalah kira-kira 0.2eV. Apabila kohesi antara zarah lapisan filem lebih besar daripada daya ikatan antara atom lapisan filem dan bahan kerja, ia membentuk nukleus pulau. Satu atom lapisan filem kekal di permukaan bahan kerja untuk tempoh masa yang tidak teratur, melakukan pergerakan, resapan, migrasi atau perlanggaran dengan atom lain untuk membentuk gugusan atom. Bilangan atom dalam gugusan atom mencapai nilai kritikal tertentu, nukleus yang stabil terbentuk, yang dipanggil nukleus berbentuk homogen.
licin, dan mengandungi banyak kecacatan dan langkah, yang menyebabkan perbezaan daya penjerapan bahagian-bahagian benda kerja yang berbeza kepada atom radioaktif. Tenaga penjerapan permukaan kecacatan adalah lebih besar daripada permukaan biasa, jadi ia menjadi pusat aktif, yang kondusif untuk nukleasi keutamaan, yang dipanggil nukleasi heterogen. Apabila daya kohesif adalah sama dengan daya pengikatan, atau daya pengikatan antara atom membran dan benda kerja adalah lebih besar daripada daya kohesif antara atom membran, struktur lamelar terbentuk. Dalam teknologi penyaduran ion, teras pulau terbentuk dalam kebanyakan kes.
2. Pertumbuhan
Sebaik sahaja teras filem terbentuk, ia terus membesar dengan memerangkap atom-atom yang datang. Pulau-pulau tersebut membesar dan bergabung antara satu sama lain untuk membentuk hemisfera yang lebih besar, secara beransur-ansur membentuk lapisan pulau hemisfera yang merebak ke permukaan bahan kerja.
Apabila tenaga atom lapisan filem tinggi, ia boleh meresap secukupnya di permukaan dan filem berterusan yang licin boleh dibentuk apabila gugusan atom yang masuk berikutnya adalah kecil. Jika resapan atom di permukaan lemah dan saiz gugusan yang termendap adalah besar, ia wujud sebagai nukleus semenanjung yang besar. Bahagian atas teras pulau mempunyai kesan teduhan yang kuat pada bahagian cekung, iaitu "kesan bayang-bayang". Unjuran permukaan lebih kondusif untuk menangkap atom yang termendap berikutnya dan pertumbuhan keutamaan, mengakibatkan peningkatan tahap cekung pada permukaan untuk membentuk kristal kon atau kolumnar dengan saiz yang mencukupi. Lompang menembusi terbentuk di antara kristal kon dan nilai kekasaran permukaan meningkat. Tisu halus boleh diperolehi pada vakum yang tinggi, dengan penurunan tahap vakum, mikrostruktur membran menjadi semakin tebal.
Masa siaran: 24 Mei 2023