Buxarlanma örtüyü zamanı film təbəqəsinin nüvələşməsi və böyüməsi müxtəlif ion örtük texnologiyasının əsasını təşkil edir.
1. Nüvələşmə
Invakuum buxarlanma örtük texnologiyasıFilm təbəqəsi hissəcikləri buxarlanma mənbəyindən atomlar şəklində buxarlandıqdan sonra yüksək vakuumda birbaşa iş parçasına uçur və iş parçasının səthində nüvələşmə və böyümə yolu ilə film təbəqəsi əmələ gətirirlər. Vakuum buxarlanması zamanı buxarlanma mənbəyindən qaçan film təbəqəsi atomlarının enerjisi təxminən 0,2 eV-dir. Film təbəqəsinin hissəcikləri arasındakı birləşmə film təbəqəsi ilə iş parçasının atomları arasındakı bağlayıcı qüvvədən çox olduqda, ada nüvəsi əmələ gətirir. Tək bir film təbəqəsi atomu iş parçasının səthində bir müddət qalır və nizamsız hərəkət, diffuziya, miqrasiya və ya digər atomlarla toqquşma edərək atom qrupları əmələ gətirir. Atom qrupundakı atomların sayı müəyyən bir kritik dəyərə çatdıqda, homojen formalı nüvə adlanan sabit bir nüvə əmələ gəlir.
hamar olur və bir çox qüsur və pillə ehtiva edir ki, bu da iş parçasının müxtəlif hissələrinin radioaktiv atomlara adsorbsiya qüvvəsindəki fərqə səbəb olur. Qüsurun səthinin adsorbsiya enerjisi normal səthin adsorbsiya enerjisindən daha böyükdür, buna görə də o, heterojen nüvələşmə adlanan üstünlük təşkil edən nüvələşməyə əlverişli olan aktiv mərkəzə çevrilir. Birləşmə qüvvəsi bağlayıcı qüvvəyə bərabər olduqda və ya membran atomları ilə iş parçası arasındakı bağlayıcı qüvvə membran atomları arasındakı birləşmə qüvvəsindən çox olduqda, lamellar struktur əmələ gəlir. İon örtük texnologiyasında əksər hallarda ada nüvəsi əmələ gəlir.
2. Böyümə
Filmin nüvəsi əmələ gəldikdən sonra, düşən atomları tutaraq böyüməyə davam edir. Adalar böyüyür və bir-biri ilə birləşərək daha böyük yarımkürələr əmələ gətirir və tədricən iş parçasının səthinə yayılan yarımkürəvi ada təbəqəsi əmələ gətirir.
Film təbəqəsinin atom enerjisi yüksək olduqda, səthdə kifayət qədər yayıla bilər və sonrakı daxil olan atom qrupları kiçik olduqda hamar davamlı bir film əmələ gələ bilər. Atomların səthdə yayılması zəifdirsə və çöküntü qruplarının ölçüsü böyükdürsə, onlar böyük yarımada nüvələri kimi mövcuddurlar. Ada nüvəsinin yuxarı hissəsi çökük hissəyə güclü kölgə effekti verir, yəni "kölgə effekti". Səthin proyeksiyası sonrakı çöküntü atomlarını tutmaq və üstünlük verilən böyümə üçün daha əlverişlidir və nəticədə səthdə kifayət qədər ölçülü konusvari və ya sütunlu kristallar əmələ gətirmək üçün çöküklük dərəcəsi artır. Konik kristallar arasında nüfuz edən boşluqlar əmələ gəlir və səthin pürüzlülüyü artır. Yüksək vakuumda incə toxuma əldə etmək olar, vakuum dərəcəsinin azalması ilə membranın mikrostrukturu getdikcə daha qalınlaşır.
Yayımlanma vaxtı: 24 may 2023