Кога ќе започне таложењето на мембранските атоми, јонското бомбардирање ги има следниве ефекти врз интерфејсот мембрана/супстрат.
(1) Физичко мешање. Поради вбризгувањето на јони со висока енергија, распрснувањето на наталожените атоми и вбризгувањето на површинските атоми и феноменот на каскаден судир, ќе предизвикаат блиска површинска површина на мембранскиот/базниот интерфејс на елементите на подлогата и мембранските елементи на недифузионното мешање, овој ефект на мешање ќе биде погоден за формирање на „псевдодифузионен слој“ на мембранскиот/базниот интерфејс, односно преодниот слој помеѓу мембранскиот/базниот интерфејс, со дебелина до неколку микрони. Дебелина од неколку микрометри, во која може да се појават и нови фази. Ова е многу поволно за подобрување на јачината на адхезија на мембранскиот/базниот интерфејс.
(2) Зголемена дифузија. Високата концентрација на дефекти во регионот близу до површината и високата температура ја зголемуваат брзината на дифузија. Бидејќи површината е точкест дефект, малите јони имаат тенденција да ја отклонат површината, а јонското бомбардирање има ефект на дополнително зголемување на површинското отклонување и подобрување на меѓусебната дифузија на наталожените и супстратните атоми.
(3) Подобрен режим на нуклеација. Својствата на атомот кондензиран на површината на подлогата се одредуваат од неговата површинска интеракција и неговите миграциски својства на површината. Ако нема силна интеракција помеѓу кондензираниот атом и површината на подлогата, атомот ќе дифундира на површината сè додека не се нуклеира на позиција со висока енергија или не се судри со други дифузни атоми. Овој режим на нуклеација се нарекува нереактивна нуклеација. Дури и ако оригиналот припаѓа на случајот на нереактивен режим на нуклеација, јонското бомбардирање на површината на подлогата може да произведе повеќе дефекти, зголемувајќи ја густината на нуклеацијата, што е поповолно за формирање на дифузија - реактивен режим на нуклеација.
(4) Преференцијално отстранување на лабаво врзани атоми. Распрснувањето на површинските атоми е определено од локалната состојба на врзување, а јонското бомбардирање на површината е поверојатно да ги распрсне лабаво врзаните атоми. Овој ефект е поизразен при формирање на дифузионо-реактивни интерфејси.
(5) Подобрување на површинската покривност и подобрување на бајпасот на обложување. Поради високиот работен притисок на гасот при јонско обложување, испарените или распрсканите атоми се подложени на судир со атомите на гас за да се зголеми расејувањето, што резултира со добри својства на обвиткување на облогата.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 09.12.2023