Конвенционални техники за нанесување тврди премази

1. Термичка CVD технологија

Тврдите премази се претежно метал-керамички премази (TiN, итн.), кои се формираат со реакција на металот во премазот и реактивна гасификација. На почетокот, термичката CVD технологија се користеше за да се обезбеди енергијата на активирање на комбинациската реакција со топлинска енергија на висока температура од 1000 ℃. Оваа температура е погодна само за нанесување на TiN и други тврди премази на цементирани карбидни алати. Досега, тоа е сè уште важна технологија за нанесување на композитни премази TiN-Al2O3 на глави од цементирани карбидни алати.

1. Шуплива катодна јонска обвивка и топла жична јонска обвивка од лак

Во 1980-тите, за нанесување на обложени алатки за сечење се користеле премачкување со шупливи катодни јони и премачкување со јонски лак со топла жица. И двете технологии за јонско премачкување се технологии за јонско премачкување со лачно празнење, со стапка на јонизација на металот до 20%~40%.

1. Катоден лак со јонски слој

Појавата на катодно лачно јонско катирање доведе до развој на технологијата за нанесување тврди премази на калапи. Стапката на јонизација на катодно лачно јонско премачкување е 60%~90%, што овозможува голем број метални јони и реакциски гасни јони да стигнат до површината на обработуваното парче и сепак да одржат висока активност, што резултира со реакциско таложење и формирање на тврди премази како што е TiN. Во моментов, технологијата на катодно лачно јонско премачкување главно се користи за нанесување тврди премази на калапи.

Изворот на катоден лак е извор на испарување во цврста состојба без фиксен базен на стопена течност, а позицијата на изворот на лакот може да се постави произволно, подобрувајќи ја стапката на искористеност на просторијата за обложување и зголемувајќи го капацитетот на оптоварување на печката. Облиците на изворите на катоден лак вклучуваат мали кружни извори на катоден лак, столбни извори на лак и правоаголни рамни извори на голем лак. Различните компоненти на изворите на мал лак, столбните извори на лак и изворите на голем лак може да се распоредат одделно за да се таложат повеќеслојни филмови и нано повеќеслојни филмови. Во меѓувреме, поради високата стапка на јонизација на металот на обложувањето со катоден лак, металните јони можат да апсорбираат повеќе реакциони гасови, што резултира со широк опсег на процеси и едноставна работа за добивање одлични тврди облоги. Сепак, постојат груби капки во микроструктурата на слојот за обложување добиен со обложување со катоден лак. Во последниве години, се појавија многу нови технологии за усовршување на структурата на филмскиот слој, што го подобри квалитетот на филмот за обложување со лачни јони.